獨(dú)立的轉(zhuǎn)接件連接顯微鏡和物鏡，可方便的更換物鏡

該壓電物鏡安裝架最大通光孔徑為M32，最大負(fù)載為500g，它兼容多光子顯微和共聚焦顯微應(yīng)用中常用的大視場物鏡。為了更方便的更換物鏡，安裝座分別通過獨(dú)立的轉(zhuǎn)接件連接顯微鏡和物鏡。這種設(shè)計(jì)使得可在不需要拆下其它組件的情況下拆卸物鏡。轉(zhuǎn)接件可選螺紋接口。

內(nèi)置電容式精密位移傳感器，實(shí)現(xiàn)亞納米分辨率

壓電物鏡定位器內(nèi)置電容式精密位移傳感器進(jìn)行全閉環(huán)的位置反饋，電容式傳感器以亞納米分辨率進(jìn)行測量，且無接觸。它們可確保優(yōu)異的運(yùn)動線性、長期穩(wěn)定性和千赫茲范圍的帶寬，在閉環(huán)操作時能提供高分辨率，同時主動補(bǔ)償短期和長期漂移。確保納米定位臺具有極佳的運(yùn)動控制精度，定位精度、分辨率和穩(wěn)定性可以達(dá)到納米量級，定位穩(wěn)定時間僅為毫秒量級。

無摩擦柔性鉸鏈導(dǎo)向與大行程的杠桿放大結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)相結(jié)合

壓電物鏡掃描臺基于壓電陶瓷復(fù)合放大式結(jié)構(gòu)，壓電物鏡掃描儀內(nèi)部采用高精度的無摩擦柔性鉸鏈導(dǎo)向與大行程的杠桿放大結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)相結(jié)合，采用有限元仿真分析優(yōu)化柔性鉸鏈結(jié)構(gòu)，復(fù)合式的柔性導(dǎo)向系統(tǒng)具有超高的導(dǎo)向精度、有效消除側(cè)向運(yùn)動分量，具有高剛性、高動態(tài)、大推力、大承載、無摩擦、無磨損、免維護(hù)、小體積等特點(diǎn)。

超大通光孔徑支持大視場物鏡，快速釋放彎曲夾允許快速物鏡更換，適配多種物鏡螺紋接口

壓電物鏡支架具有高達(dá) Ø30 mm 的通光孔徑和 500 g (1.1 lbs) 的最大負(fù)載，可輕松容納多光子和共聚焦顯微鏡中常用的大視場物鏡。為了允許在物鏡之間輕松切換，壓電載物臺通過獨(dú)立的適配器連接到顯微鏡和物鏡上，可快速釋放彎曲夾允許快速物鏡更換，這種設(shè)計(jì)選擇允許在不斷開組件其余部分的情況下移除物鏡。適配器可用于 M32 x 0.75、M27 x 0.75、SM1 (1.035"-40)、M26 x 0.706、M25 x 0.75 和 RMS (0.800"-36) 螺紋。

壓電物鏡定位器專為微調(diào)焦距和高速 Z-Stack掃描采集而設(shè)計(jì)

壓電物鏡定位器專為微調(diào)焦距和高速 Z-Stack掃描采集而設(shè)計(jì)，并且兼容正置、倒置和旋轉(zhuǎn)顯微鏡。它繞過了傳統(tǒng)顯微鏡中內(nèi)置的相對較慢的步進(jìn)電機(jī)，它可提供毫秒級典型建立時間實(shí)現(xiàn)快速采集和高幀速率，以便快速獲得 3D 體積的掃描。內(nèi)置電容反饋傳感器可提供亞納米分辨率，從而能夠?qū)Χ唐诤烷L期漂移進(jìn)行主動補(bǔ)償?？蓱?yīng)用于高速延時和Z-Stack 成像的自動對焦系統(tǒng)、3D 成像的光學(xué)切片、微調(diào)焦距、掃描干涉儀、表面輪廓測量和分析、半導(dǎo)體和晶圓檢測。

采用壓電陶瓷驅(qū)動的納米級壓電物鏡掃描儀

壓電物鏡掃描器用于精細(xì)對焦調(diào)節(jié)和高速Z軸序列圖像采集，應(yīng)用于顯微物鏡的大行程納米定位與掃描系統(tǒng)，結(jié)構(gòu)緊湊、易于集成，它兼容多款顯微鏡，它避開了集成在顯微鏡中的相對緩慢的步進(jìn)電機(jī)，從而實(shí)現(xiàn)了快速的3D掃描。在三維成像技術(shù)、篩選、干涉、計(jì)量、自動對焦系統(tǒng)、共聚焦顯微鏡、半導(dǎo)體測試、生物技術(shù)等領(lǐng)域得到廣泛應(yīng)用。

無摩擦零間隙的柔性鉸鏈導(dǎo)向系統(tǒng)帶來高精度的運(yùn)動導(dǎo)向

壓電物鏡掃描器內(nèi)部使用無摩擦及空回的柔性鉸鏈導(dǎo)向結(jié)構(gòu)，采用有限元仿真分析優(yōu)化柔性鉸鏈結(jié)構(gòu)，柔性導(dǎo)向系統(tǒng)具有超高的導(dǎo)向精度，柔性鉸鏈導(dǎo)向具有高剛性、高負(fù)載、無摩擦、無磨損、無需潤滑、免維護(hù)等特點(diǎn)。它們的剛性可實(shí)現(xiàn)高負(fù)載能力，且它們對沖擊和振動不敏感。真空兼容，可在很廣的溫度范圍內(nèi)工作。

內(nèi)置高性能壓電陶瓷促動器帶來超長使用壽命

壓電陶瓷促動器由環(huán)氧脂質(zhì)涂層包裹，具有優(yōu)異的防潮特性，避免漏電流增大造成故障。壓電陶瓷促動器比傳統(tǒng)式壓電促動器的使用壽命更長，性能更穩(wěn)定，可實(shí)現(xiàn)無故障運(yùn)行1000億個循環(huán)。

直接位置測量帶來超高的運(yùn)動控制精度

位移變化可直接在納米運(yùn)動平臺上測量，完全不受驅(qū)動或?qū)蛟挠绊?。這樣可以實(shí)現(xiàn)最佳的重復(fù)定位精度、優(yōu)異的穩(wěn)定性和剛性、快速響應(yīng)控制。超大行程設(shè)計(jì)最大可達(dá)2000微米，滿足大行程納米定位與掃描系統(tǒng)用戶需求。

可提供適用于復(fù)雜真空應(yīng)用版本

壓電陶瓷納米定位系統(tǒng)中使用的所有部件均非常適合于在真空環(huán)境中使用。操作無需潤滑劑或潤滑脂。壓電陶瓷納米定位系統(tǒng)可實(shí)現(xiàn)極低的排氣率。

采用無磁材質(zhì)設(shè)計(jì)制造，不受磁場的影響

壓電物鏡定位器為無磁材質(zhì)，使用過程中不產(chǎn)生磁場同時也不受磁場的影響。

納米級電容位移傳感器可達(dá)到的精度分辨率是納米級范圍

研生PIEZOXYZ研發(fā)生產(chǎn)的納米級電容位移傳感器通過測量使用均勻電場的傳感器探頭和移動目標(biāo)表面之間的電容的變化，絕對值通過經(jīng)調(diào)整、校準(zhǔn)的系統(tǒng)確定，最小距離偏差通過無接觸在長距離基礎(chǔ)上測量，可達(dá)到的精度分辨率是納米級范圍，可有效測量最短的距離，高分辨率位移測量中的納米定位應(yīng)用。通過雙極板電容傳感器測量移動物體最大精度的直接距離和實(shí)際位置。無接觸測量高分辨力傳感器具有較高的傳感器帶寬，可滿足動態(tài)應(yīng)用中的閉環(huán)控制。

顯微鏡
現(xiàn)代顯微任務(wù)要求越來越高的圖像分辨率以及3D圖像掃描系統(tǒng)。除了利用新開發(fā)的特殊光學(xué)方法（如STED，TIRF...）來獲得在生物學(xué)領(lǐng)域越來越多的詳細(xì)信息之外，同時包括其他應(yīng)用方法：   ?自動對焦 ?共聚焦顯微鏡和三維成像系統(tǒng) ?服務(wù)于現(xiàn)代研究的定位系統(tǒng)如STED；TIRF；DIC；2光子顯微鏡 ?可集成到幾乎所有的主流顯微鏡的定位系統(tǒng)

? 基于無摩擦高精度柔性鉸鏈運(yùn)動導(dǎo)向的壓電陶瓷納米定位系統(tǒng)，系統(tǒng)分辨率僅受放大器噪聲和測量技術(shù)的限制。開環(huán)分辨率為受系統(tǒng)放大器噪聲限制所能達(dá)到的典型值。極低的系統(tǒng)定位噪聲可獲得滿行程十萬分之一以上的閉環(huán)分辨率。