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一維壓電平移臺(tái)【X】
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壓電物鏡位移器 ║P211S
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運(yùn)動(dòng)軸Z
-
傳感器類型SGS 電阻應(yīng)變片式
-
標(biāo)稱行程100μm
-
結(jié)構(gòu)類型機(jī)構(gòu)放大式結(jié)構(gòu)
產(chǎn)品參數(shù)
研生提供高精度的CAP電容傳感器版本納米定位臺(tái),
也提供低成本的SGS電阻應(yīng)變片版本的納米定位臺(tái)。
傳感器類型 |
SGS 電阻應(yīng)變片
|
CAP 電容式 |
測(cè)量方式 |
間接測(cè)量,誤差大
|
直接測(cè)量,精準(zhǔn) |
定位精度 |
0.03%F.S. ~ 0.05%F.S.
以行程100μm為例,
重復(fù)精度:30~50nm
|
0.001%F.S. ~ 0.002%F.S.
以行程100μm為例,
重復(fù)精度可達(dá):±1nm |
壓電物鏡位移臺(tái)設(shè)計(jì)用于精細(xì)對(duì)焦調(diào)節(jié)和高速Z軸序列圖像采集。它兼容多款顯微鏡,它避開了集成在顯微鏡中的相對(duì)緩慢的步進(jìn)電機(jī),從而實(shí)現(xiàn)了快速的3D掃描。內(nèi)置精密位移傳感器使掃描儀在開環(huán)操作時(shí)能提供高達(dá)1nm的分辨率,同時(shí)主動(dòng)補(bǔ)償短期和長(zhǎng)期漂移。每套位移臺(tái)發(fā)貨時(shí)都附帶一臺(tái)壓電控制器,并針對(duì)配套的位移臺(tái)進(jìn)行過校準(zhǔn)。該壓電物鏡安裝架最大通光孔徑為M29(P211HS可達(dá)M32),最大負(fù)載為500 g (1.1 lbs),它兼容多光子顯微和共聚焦顯微應(yīng)用中常用的大視場(chǎng)物鏡。為了更方便的更換物鏡,安裝座分別通過獨(dú)立的轉(zhuǎn)接件連接顯微鏡和物鏡。這種設(shè)計(jì)使得可在不需要拆下其它組件的情況下拆卸物鏡。轉(zhuǎn)接件可選螺紋接口(詳見尺寸圖)。
壓電物鏡位移器 ║P211S是采用壓電陶瓷驅(qū)動(dòng)的納米級(jí)壓電物鏡定位器,用于顯微鏡物鏡的快速納米定位器和掃描儀,壓電物鏡定位器內(nèi)部使用無摩擦及空回的柔性鉸鏈導(dǎo)向機(jī)構(gòu),采用有限元仿真分析優(yōu)化柔性鉸鏈結(jié)構(gòu),柔性導(dǎo)向系統(tǒng)具有超高的導(dǎo)向精度,且具有高剛性、高負(fù)載、無磨損、免維護(hù)等特點(diǎn),壓電物鏡位移器內(nèi)置精密位移傳感器進(jìn)行全閉環(huán)的位置反饋,確保了壓電位移器具有極佳的運(yùn)動(dòng)控制精度,定位精度、分辨率和穩(wěn)定性可以達(dá)到納米量級(jí),定位穩(wěn)定時(shí)間僅為毫秒量級(jí)。壓電物鏡位移器為無磁材質(zhì),使用過程中不產(chǎn)生磁場(chǎng)同時(shí)也不受磁場(chǎng)的影響。分立的螺紋轉(zhuǎn)接器,可適配多種型號(hào)的物鏡。
◆ 用于顯微鏡物鏡的快速納米定位器和掃描儀; ◆ 結(jié)構(gòu)緊湊,易于集成,分立式螺紋適配器可實(shí)現(xiàn)便捷連接; ◆ 與電機(jī)式驅(qū)動(dòng)器相比,具有明顯更快的響應(yīng)和更長(zhǎng)的使用壽命; ◆ 亞納米級(jí)分辨率的物鏡精密定位; ◆ 平行柔性鉸鏈導(dǎo)向可實(shí)現(xiàn)最小的物鏡偏移; ◆ 零間隙無摩擦高精度柔性鉸鏈導(dǎo)向系統(tǒng)可實(shí)現(xiàn)更好的聚焦穩(wěn)定性; ◆ 內(nèi)置高性能壓電陶瓷促動(dòng)器帶來超長(zhǎng)使用壽命; ◆ 內(nèi)置精密位移傳感器進(jìn)行全閉環(huán)位置反饋,開/閉環(huán)可供選擇。 |
● 超分辨率顯微鏡 ● 光學(xué)圓盤顯微鏡 ● 3D成像 ● 篩選 ● 干涉測(cè)量 ● 測(cè)量技術(shù) ● 自動(dòng)聚焦系統(tǒng) ● 生物技術(shù) ● 半導(dǎo)體測(cè)試 |
顯微鏡 | |
---|---|
現(xiàn)代顯微任務(wù)要求越來越高的圖像分辨率以及3D圖像掃描系統(tǒng)。除了利用新開發(fā)的特殊光學(xué)方法(如STED,TIRF...)來獲得在生物學(xué)領(lǐng)域越來越多的詳細(xì)信息之外,同時(shí)包括其他應(yīng)用方法:
?自動(dòng)對(duì)焦 ?共聚焦顯微鏡和三維成像系統(tǒng) ?服務(wù)于現(xiàn)代研究的定位系統(tǒng)如STED;TIRF;DIC;2光子顯微鏡 ?可集成到幾乎所有的主流顯微鏡的定位系統(tǒng) |
型號(hào) |
P211S |
P212S |
P214S |
單位 |
公差 |
主動(dòng)軸 |
Z |
Z |
Z |
- |
- |
運(yùn)動(dòng)和定位 |
|
|
|
|
|
傳感器類型 |
SGS 應(yīng)變片 |
SGS 應(yīng)變片 |
SGS 應(yīng)變片 |
- |
- |
開環(huán)行程[-20V~+150V] |
120 |
250 |
400 |
μm |
±20% |
閉環(huán)行程[0V~+120V] |
100 |
200 |
320 |
μm |
±20% |
開環(huán)分辨率 |
0.6 |
1.3 |
2 |
nm |
typ. |
閉環(huán)分辨率[16bit DAC] |
1.6 |
3.1 |
4.9 |
nm |
typ. |
閉環(huán)線性度 |
0.04 |
0.04 |
0.04 |
%F.S. |
typ. |
重復(fù)定位精度 |
±5 |
±10 |
±16 |
nm |
typ. |
機(jī)械特性 |
|
|
|
|
|
運(yùn)動(dòng)方向剛度 |
1.2 |
0.8 |
0.4 |
N/μm |
±20% |
空載諧振頻率 |
510 |
420 |
330 |
Hz |
±20% |
諧振頻率@80g |
300 |
240 |
180 |
Hz |
±20% |
運(yùn)動(dòng)方向推/拉力 |
100/20 |
100/20 |
100/20 |
N |
Max. |
其他 |
|
|
|
|
|
工作溫度 |
10~70 |
10~70 |
10~70 |
℃ |
- |
材質(zhì) |
鋼,鋁 |
鋼,鋁 |
鋼,鋁 |
- |
- |
外形尺寸 |
40x48x33 |
65x61x35 |
65x61x35 |
mm |
- |
最大物鏡接口 |
M28 |
M32 |
M32 |
- |
Max. |
最大物鏡重量 |
200 |
200 |
200 |
g |
Max. |
重量 |
0.2 |
0.35 |
0.4 |
Kg |
±5% |
線纜長(zhǎng)度 |
1.5 |
1.5 |
1.5 |
m |
±10mm |
連接器類型 |
LEMO│D-Sub9 |
LEMO│D-Sub9 |
LEMO│D-Sub9 |
- |
- |
注:最大驅(qū)動(dòng)電壓為-20V...+150V;對(duì)于高可靠的長(zhǎng)期使用,建議驅(qū)動(dòng)電壓為0V...+120V。 |
? 基于無摩擦高精度柔性鉸鏈運(yùn)動(dòng)導(dǎo)向的壓電陶瓷納米定位系統(tǒng),系統(tǒng)分辨率僅受放大器噪聲和測(cè)量技術(shù)的限制。開環(huán)分辨率為受系統(tǒng)放大器噪聲限制所能達(dá)到的典型值。極低的系統(tǒng)定位噪聲可獲得滿行程十萬分之一以上的閉環(huán)分辨率。
【 P211DS 結(jié)構(gòu)尺寸圖】
壓電•納米•定位•運(yùn)動(dòng)•控制•系統(tǒng)解決方案
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