三維壓電位移臺 ║P114XYZC是采用壓電陶瓷驅(qū)動的三維納米級壓電平臺，壓電納米平臺內(nèi)部使用無摩擦及空回的柔性鉸鏈導(dǎo)向機構(gòu)，采用有限元仿真分析優(yōu)化柔性鉸鏈結(jié)構(gòu)，柔性導(dǎo)向系統(tǒng)具有超高的導(dǎo)向精度，且具有高剛性、高負載、無磨損、免維護等特點，壓電平臺內(nèi)置電容式精密位移傳感器進行全閉環(huán)的位置反饋，確保了壓電平臺具有極佳的運動控制精度，定位精度、分辨率和穩(wěn)定性可以達到納米量級，定位穩(wěn)定時間僅為毫秒量級。壓電納米平臺為無磁材質(zhì)，使用過程中不產(chǎn)生磁場同時也不受磁場的影響。壓電平臺特點體積小、結(jié)構(gòu)緊湊、易于集成、具有超高性價比的納米定位系統(tǒng)。

采用壓電陶瓷驅(qū)動的納米級精密定位三維壓電掃描臺

三維壓電掃描臺內(nèi)置高性能壓電陶瓷，內(nèi)部使用無摩擦及空回的柔性鉸鏈導(dǎo)向機構(gòu)，用于高分辨率快速掃描，高性價比的納米定位系統(tǒng)，壓電掃描臺結(jié)構(gòu)緊湊、易于集成，三維并聯(lián)納米級精密定位壓電掃描臺非常適合應(yīng)用于超高精度的精密掃描系統(tǒng)中，可更好的集成于精密定位掃描系統(tǒng)中。

直接位置測量帶來超高的運動控制精度

位移變化可直接在納米運動平臺上測量，完全不受驅(qū)動或?qū)蛟挠绊?。這樣可以實現(xiàn)最佳的重復(fù)定位精度、優(yōu)異的穩(wěn)定性和剛性、快速響應(yīng)控制。

可提供適用于復(fù)雜真空應(yīng)用版本

壓電陶瓷納米定位系統(tǒng)中使用的所有部件均非常適合于在真空環(huán)境中使用。操作無需潤滑劑或潤滑脂。壓電陶瓷納米定位系統(tǒng)可實現(xiàn)極低的排氣率。

無摩擦零間隙的柔性鉸鏈導(dǎo)向系統(tǒng)帶來高精度的運動導(dǎo)向

壓電納米位移臺內(nèi)部使用無摩擦及空回的高精度柔性鉸鏈并聯(lián)導(dǎo)向系統(tǒng)，采用有限元仿真分析優(yōu)化柔性鉸鏈結(jié)構(gòu)，柔性導(dǎo)向系統(tǒng)具有超高的導(dǎo)向精度，可提供超高平面度的納米掃描，柔性鉸鏈導(dǎo)向具有高剛性、高負載、無摩擦、無磨損、無需潤滑、免維護等特點。它們的剛性可實現(xiàn)高負載能力，且它們對沖擊和振動不敏感。真空兼容，可在很廣的溫度范圍內(nèi)工作。

采用無磁材質(zhì)設(shè)計制造，不受磁場的影響

壓電納米位移臺為無磁材質(zhì)，使用過程中不產(chǎn)生磁場同時也不受磁場的影響。

內(nèi)置高性能壓電陶瓷促動器帶來超長使用壽命

壓電陶瓷促動器由環(huán)氧脂質(zhì)涂層包裹，具有優(yōu)異的防潮特性，避免漏電流增大造成故障。壓電陶瓷促動器比傳統(tǒng)式壓電促動器的使用壽命更長，性能更穩(wěn)定，可實現(xiàn)無故障運行1000億個循環(huán)。

內(nèi)置電容式精密位移傳感器，實現(xiàn)亞納米分辨率

壓電納米定位臺內(nèi)置電容式精密位移傳感器進行全閉環(huán)的位置反饋，電容式傳感器以亞納米分辨率進行測量，且無接觸。它們可確保優(yōu)異的運動線性、長期穩(wěn)定性和千赫茲范圍的帶寬，確保納米定位臺具有極佳的運動控制精度，定位精度、分辨率和穩(wěn)定性可以達到納米量級，定位穩(wěn)定時間僅為毫秒量級。

隨著光刻工藝的發(fā)展，如今的芯片變得越來越小，硅晶片上也出現(xiàn)了極為精細的結(jié)構(gòu)。原子力顯微鏡(AFM)可實現(xiàn)原子級的高分辨率表面測量，為半導(dǎo)體制造領(lǐng)域帶來了全新的檢測方法。壓電陶瓷驅(qū)動器憑借出眾的性能及可靠性為這些技術(shù)進步做出了貢獻。   現(xiàn)代電子芯片架構(gòu)已經(jīng)縮小到納米級，在半導(dǎo)體工業(yè)生產(chǎn)中基于品質(zhì)控制及高精度測量的要求，壓電驅(qū)動器可提供：
擺動精準定位控制在µm 和nm 級 快速半導(dǎo)體研究掃描系統(tǒng) 晶圓支架和晶圓調(diào)整裝置

? 基于無摩擦高精度柔性鉸鏈運動導(dǎo)向的壓電陶瓷納米定位系統(tǒng)，系統(tǒng)分辨率僅受放大器噪聲和測量技術(shù)的限制。開環(huán)分辨率為受系統(tǒng)放大器噪聲限制所能達到的典型值。極低的系統(tǒng)定位噪聲可獲得滿行程十萬分之一以上的閉環(huán)分辨率。