-
首頁
-
產(chǎn)品中心
- 一維壓電平移臺(tái)【X】
- 1軸行程≤60μm
- 1軸行程≤150μm
- 1軸行程≤300μm
- 1軸行程≤500μm
- 1軸行程≤1000μm
- 1軸行程≤2000μm
- 一維壓電升降臺(tái)【Z】
- Z軸行程≤60μm
- Z軸行程≤150μm
- Z軸行程≤300μm
- Z軸行程≤500μm
- Z軸行程≤1000μm
- 一維壓電旋轉(zhuǎn)臺(tái)【θz】
- 1軸行程≤1mrad
- 1軸行程≤3mrad
- 1軸行程≤6mrad
- 1軸行程≤10mrad
- 二維壓電平移臺(tái)【XY】
- 2軸行程≤50μm
- 2軸行程≤150μm
- 2軸行程≤300μm
- 2軸行程≤500μm
- 2軸行程≤1000μm
- 2軸行程≤2000μm
- 二維壓電位移臺(tái)【XZ】
- XZ行程≤50μm
- XZ行程≤150μm
- XZ行程≤300μm
- XZ行程≤500μm
- 二維壓電偏擺臺(tái)【θxθy】
- 2軸行程≤5mrad
- 2軸行程≤10mrad
- 2軸行程≤15mrad
- 2軸行程≤25mrad
- 2軸行程≤50mrad
- 2軸行程≤100mrad
- 三維壓電位移臺(tái)【XYZ】
- 3軸行程≤50μm
- 3軸行程≤150μm
- 3軸行程≤300μm
- 3軸行程≤500μm
- 三維壓電偏擺臺(tái)【Zθxθy】
- 3軸行程≤150μm/≤3mrad
- 3軸行程≤300μm/≤6mrad
- 3軸行程≤500μm/≤12mrad
- 3軸行程≤20μm/≤4mrad
- 3軸行程≤40μm/≤8mrad
- 3軸行程≤80μm/≤16mrad
- 三維壓電納米臺(tái)【XYθz】
- 3軸行程≤150μm/1mrad
- 3軸行程≤300μm2mrad
- 3軸行程≤500μm3mrad
- 六維壓電位移臺(tái)【XYZθxθyθz】
- 6軸行程≤150μm/≤3mrad
- 6軸行程≤300μm/≤6mrad
- 6軸行程≤500μm/≤10mrad
- 壓電陶瓷元件
- 壓電陶瓷片
- 壓電纖維片
- 疊堆壓電陶瓷
- 壓電陶瓷促動(dòng)器
- 直驅(qū)型壓電促動(dòng)器
- 放大型壓電促動(dòng)器
- 專用型壓電促動(dòng)器
- 壓電快速偏擺鏡
- 壓電物鏡定位器
- 壓電顯微掃描臺(tái)
- 模塊化壓電控制器
- 集成式壓電控制器
-
應(yīng)用領(lǐng)域
- 顯微與成像領(lǐng)域
- 測量/激光技術(shù)/光學(xué)檢測/摩擦學(xué)領(lǐng)域
- 生物科技與生命科學(xué)領(lǐng)域
- 新藥設(shè)計(jì)與醫(yī)療技術(shù)領(lǐng)域
- 超精密加工(金屬、光學(xué)、激光切割…)領(lǐng)域
- 半導(dǎo)體技術(shù)領(lǐng)域
- 納米技術(shù)、納米制造與納米自動(dòng)化領(lǐng)域
- 數(shù)據(jù)存儲(chǔ)技術(shù)領(lǐng)域
- 光電子、通信與集成光學(xué)領(lǐng)域
- 天文與自適應(yīng)光學(xué)領(lǐng)域
- 航天/圖像處理/低溫與真空環(huán)境領(lǐng)域
-
技術(shù)服務(wù)
- 技術(shù)專欄
- 使用指南
- 技術(shù)術(shù)語
- 定制服務(wù)
- 下載中心
-
新聞資訊
- 企業(yè)公告
- 行業(yè)動(dòng)態(tài)
- 視頻中心
-
關(guān)于研生
- 企業(yè)介紹
- 人力資源
- 企業(yè)文化
-
聯(lián)系我們
- 聯(lián)系方式
- 售后服務(wù)
- 在線留言
-
首頁
-
產(chǎn)品中心
-
一維壓電平移臺(tái)【X】
- 1軸行程≤60μm
- 1軸行程≤150μm
- 1軸行程≤300μm
- 1軸行程≤500μm
- 1軸行程≤1000μm
- 1軸行程≤2000μm
-
一維壓電升降臺(tái)【Z】
- Z軸行程≤60μm
- Z軸行程≤150μm
- Z軸行程≤300μm
- Z軸行程≤500μm
- Z軸行程≤1000μm
-
一維壓電旋轉(zhuǎn)臺(tái)【θz】
- 1軸行程≤1mrad
- 1軸行程≤3mrad
- 1軸行程≤6mrad
- 1軸行程≤10mrad
-
二維壓電平移臺(tái)【XY】
- 2軸行程≤50μm
- 2軸行程≤150μm
- 2軸行程≤300μm
- 2軸行程≤500μm
- 2軸行程≤1000μm
- 2軸行程≤2000μm
-
二維壓電位移臺(tái)【XZ】
- XZ行程≤50μm
- XZ行程≤150μm
- XZ行程≤300μm
- XZ行程≤500μm
-
二維壓電偏擺臺(tái)【θxθy】
- 2軸行程≤5mrad
- 2軸行程≤10mrad
- 2軸行程≤15mrad
- 2軸行程≤25mrad
- 2軸行程≤50mrad
- 2軸行程≤100mrad
-
三維壓電位移臺(tái)【XYZ】
- 3軸行程≤50μm
- 3軸行程≤150μm
- 3軸行程≤300μm
- 3軸行程≤500μm
-
三維壓電偏擺臺(tái)【Zθxθy】
- 3軸行程≤150μm/≤3mrad
- 3軸行程≤300μm/≤6mrad
- 3軸行程≤500μm/≤12mrad
- 3軸行程≤20μm/≤4mrad
- 3軸行程≤40μm/≤8mrad
- 3軸行程≤80μm/≤16mrad
-
三維壓電納米臺(tái)【XYθz】
- 3軸行程≤150μm/1mrad
- 3軸行程≤300μm2mrad
- 3軸行程≤500μm3mrad
-
六維壓電位移臺(tái)【XYZθxθyθz】
- 6軸行程≤150μm/≤3mrad
- 6軸行程≤300μm/≤6mrad
- 6軸行程≤500μm/≤10mrad
-
壓電陶瓷元件
- 壓電陶瓷片
- 壓電纖維片
- 疊堆壓電陶瓷
-
壓電陶瓷促動(dòng)器
- 直驅(qū)型壓電促動(dòng)器
- 放大型壓電促動(dòng)器
- 專用型壓電促動(dòng)器
-
壓電快速偏擺鏡
-
壓電物鏡定位器
-
壓電顯微掃描臺(tái)
-
模塊化壓電控制器
-
集成式壓電控制器
-
一維壓電平移臺(tái)【X】
-
應(yīng)用領(lǐng)域
-
顯微與成像領(lǐng)域
-
測量/激光技術(shù)/光學(xué)檢測/摩擦學(xué)領(lǐng)域
-
生物科技與生命科學(xué)領(lǐng)域
-
新藥設(shè)計(jì)與醫(yī)療技術(shù)領(lǐng)域
-
超精密加工(金屬、光學(xué)、激光切割…)領(lǐng)域
-
半導(dǎo)體技術(shù)領(lǐng)域
-
納米技術(shù)、納米制造與納米自動(dòng)化領(lǐng)域
-
數(shù)據(jù)存儲(chǔ)技術(shù)領(lǐng)域
-
光電子、通信與集成光學(xué)領(lǐng)域
-
天文與自適應(yīng)光學(xué)領(lǐng)域
-
航天/圖像處理/低溫與真空環(huán)境領(lǐng)域
-
顯微與成像領(lǐng)域
-
技術(shù)服務(wù)
-
技術(shù)專欄
-
使用指南
-
技術(shù)術(shù)語
-
定制服務(wù)
-
下載中心
-
技術(shù)專欄
-
新聞資訊
-
企業(yè)公告
-
行業(yè)動(dòng)態(tài)
-
視頻中心
-
企業(yè)公告
-
關(guān)于研生
-
企業(yè)介紹
-
人力資源
-
企業(yè)文化
-
企業(yè)介紹
-
聯(lián)系我們
-
聯(lián)系方式
-
售后服務(wù)
-
在線留言
-
聯(lián)系方式
六維并聯(lián)柔性鉸鏈平臺(tái) ║P681C
-
運(yùn)動(dòng)軸X,Y,Z,θx,θy,θz
-
傳感器類型CAP 電容式,直接測量
-
標(biāo)稱行程100μm2mrad
-
結(jié)構(gòu)類型機(jī)構(gòu)放大式并聯(lián)結(jié)構(gòu)
產(chǎn)品參數(shù)
研生提供高精度的CAP電容傳感器版本納米定位臺(tái),
也提供低成本的SGS電阻應(yīng)變片版本的納米定位臺(tái)。
傳感器類型 |
SGS 電阻應(yīng)變片
|
CAP 電容式 |
測量方式 |
間接測量,誤差大
|
直接測量,精準(zhǔn) |
定位精度 |
0.03%F.S. ~ 0.05%F.S.
以行程100μm為例,
重復(fù)精度:30~50nm
|
0.001%F.S. ~ 0.002%F.S.
以行程100μm為例,
重復(fù)精度可達(dá):±1nm |
具有電容位移傳感器的高性能閉環(huán)多軸納米定位系統(tǒng)平臺(tái),結(jié)合直接測量和并聯(lián)運(yùn)動(dòng)
研生PIEZOXYZ所研發(fā)的具有電容位移傳感器的高性能閉環(huán)多軸納米定位系統(tǒng)平臺(tái),結(jié)合直接測量和并聯(lián)運(yùn)動(dòng)。在多軸壓電陶瓷納米定位系統(tǒng)中使用時(shí),允許同時(shí)測量所有自由度,并積極彌補(bǔ)運(yùn)動(dòng)導(dǎo)向錯(cuò)誤(主動(dòng)軌跡控制概念),實(shí)時(shí)校準(zhǔn)多軸運(yùn)動(dòng)誤差,有效避免串聯(lián)或疊層結(jié)構(gòu)的定位系統(tǒng)所帶來的誤差疊加。電容傳感器是給出最佳定位分辨率結(jié)果的最精準(zhǔn)的測量系統(tǒng)。
無摩擦零間隙的柔性鉸鏈導(dǎo)向系統(tǒng)帶來高精度的運(yùn)動(dòng)導(dǎo)向
壓電納米位移臺(tái)內(nèi)部使用無摩擦及空回的高精度柔性鉸鏈并聯(lián)導(dǎo)向系統(tǒng),采用有限元仿真分析優(yōu)化柔性鉸鏈結(jié)構(gòu),柔性導(dǎo)向系統(tǒng)具有超高的導(dǎo)向精度,可提供超高平面度的納米掃描,柔性鉸鏈導(dǎo)向具有高剛性、高負(fù)載、無摩擦、無磨損、無需潤滑、免維護(hù)等特點(diǎn)。它們的剛性可實(shí)現(xiàn)高負(fù)載能力,且它們對沖擊和振動(dòng)不敏感。真空兼容,可在很廣的溫度范圍內(nèi)工作。
采用壓電陶瓷驅(qū)動(dòng)的六維高精度柔性鉸鏈并聯(lián)式壓電納米定位平臺(tái)
六軸并聯(lián)納米定位系統(tǒng)用于在六個(gè)自由度上(即三條線性軸和三條旋轉(zhuǎn)軸)實(shí)現(xiàn)負(fù)載進(jìn)行納米級的精準(zhǔn)移動(dòng)與定位、校準(zhǔn)以及移置。六維并聯(lián)柔性鉸鏈壓電平臺(tái)內(nèi)置高性能壓電陶瓷,內(nèi)部使用無摩擦及空回的柔性鉸鏈導(dǎo)向機(jī)構(gòu),采用中空式并聯(lián)式結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì),結(jié)構(gòu)緊湊、易于集成,且中央通孔較大,非常適合應(yīng)用于超高精度的納米級精密定位掃描系統(tǒng)中,可更好的集成于精密定位掃描系統(tǒng)中。
內(nèi)置電容式精密位移傳感器,實(shí)現(xiàn)亞納米分辨率
壓電納米定位臺(tái)內(nèi)置電容式精密位移傳感器進(jìn)行全閉環(huán)的位置反饋,電容式傳感器以亞納米分辨率進(jìn)行測量,且無接觸。它們可確保優(yōu)異的運(yùn)動(dòng)線性、長期穩(wěn)定性和千赫茲范圍的帶寬,確保納米定位臺(tái)具有極佳的運(yùn)動(dòng)控制精度,定位精度、分辨率和穩(wěn)定性可以達(dá)到納米量級,定位穩(wěn)定時(shí)間僅為毫秒量級。
采用無磁材質(zhì)設(shè)計(jì)制造,不受磁場的影響
壓電納米位移臺(tái)為無磁材質(zhì),使用過程中不產(chǎn)生磁場同時(shí)也不受磁場的影響。
主動(dòng)彌補(bǔ)串?dāng)_測量誤差,保證納米定位系統(tǒng)有效避免多軸運(yùn)動(dòng)串?dāng)_
研生PIEZOXYZ所研發(fā)的集成納米級電容位移傳感器的壓電陶瓷柔性鉸鏈位移臺(tái),通過非接觸式多軸直接測量,實(shí)時(shí)檢測運(yùn)動(dòng)對另一個(gè)軸的串?dāng)_,主動(dòng)彌補(bǔ)串?dāng)_測量誤差,保證納米定位系統(tǒng)有效避免多軸運(yùn)動(dòng)串?dāng)_,并且較高的傳感器帶寬可提供絕佳的動(dòng)態(tài)性能。研生的低噪聲集成線性化納米定位系統(tǒng)在測量直線度和平面度方面技術(shù)優(yōu)勢顯著。
內(nèi)置高性能壓電陶瓷促動(dòng)器帶來超長使用壽命
壓電陶瓷促動(dòng)器由環(huán)氧脂質(zhì)涂層包裹,具有優(yōu)異的防潮特性,避免漏電流增大造成故障。壓電陶瓷促動(dòng)器比傳統(tǒng)式壓電促動(dòng)器的使用壽命更長,性能更穩(wěn)定,可實(shí)現(xiàn)無故障運(yùn)行1000億個(gè)循環(huán)。
可提供適用于復(fù)雜真空應(yīng)用版本
壓電陶瓷納米定位系統(tǒng)中使用的所有部件均非常適合于在真空環(huán)境中使用。操作無需潤滑劑或潤滑脂。壓電陶瓷納米定位系統(tǒng)可實(shí)現(xiàn)極低的排氣率。
并聯(lián)式結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)實(shí)現(xiàn)大承載、高精度、高動(dòng)態(tài)的多至六自由度并聯(lián)運(yùn)動(dòng)
壓電平臺(tái)采用獨(dú)特的并聯(lián)式結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì),結(jié)構(gòu)緊湊。在6軸并聯(lián)運(yùn)動(dòng)定位系統(tǒng)中,所有壓電促動(dòng)器直接作用于同一個(gè)運(yùn)動(dòng)平臺(tái),即所有軸都被設(shè)計(jì)成具有相同的動(dòng)態(tài)特性,從而顯著減小移動(dòng)質(zhì)量,使所有軸具有最小的質(zhì)量慣性和相同的動(dòng)態(tài)性設(shè)計(jì),使整體運(yùn)動(dòng)面具有更輕的質(zhì)量和更低的慣量,可實(shí)現(xiàn)快速、高動(dòng)態(tài)和高精密的多軸運(yùn)動(dòng)且每軸具有相同的動(dòng)態(tài)性。相較于串聯(lián)式壓電掃描臺(tái),并聯(lián)式壓電掃描臺(tái)具有更高的負(fù)載、更高的動(dòng)態(tài)性和更優(yōu)的運(yùn)動(dòng)精度。
直接位置測量帶來超高的運(yùn)動(dòng)控制精度
位移變化可直接在納米運(yùn)動(dòng)平臺(tái)上測量,完全不受驅(qū)動(dòng)或?qū)蛟挠绊?。這樣可以實(shí)現(xiàn)最佳的重復(fù)定位精度、優(yōu)異的穩(wěn)定性和剛性、快速響應(yīng)控制。
多軸并聯(lián)壓電陶瓷納米定位系統(tǒng),進(jìn)行實(shí)時(shí)的位置校準(zhǔn),主動(dòng)補(bǔ)償多軸的串?dāng)_誤差
在多軸并聯(lián)壓電陶瓷納米定位系統(tǒng)中,所有壓電陶瓷促動(dòng)器直接并聯(lián)作用于單一運(yùn)動(dòng)平臺(tái)上,這意味著可以為所有軸設(shè)計(jì)出具有相同的動(dòng)態(tài)特性,從而可以大幅降低移動(dòng)負(fù)載的質(zhì)量,同時(shí)并聯(lián)運(yùn)動(dòng)系統(tǒng)可比串行堆疊或嵌套結(jié)構(gòu)系統(tǒng)設(shè)計(jì)得更緊湊,并配置有多軸同時(shí)測量的非接觸式電容位移傳感器,進(jìn)行實(shí)時(shí)的位置校準(zhǔn),主動(dòng)補(bǔ)償多軸的串?dāng)_誤差,從而單個(gè)軸的誤差和質(zhì)量不會(huì)累積。由于最小化質(zhì)量慣性,并聯(lián)運(yùn)動(dòng)系統(tǒng)可提供多達(dá)6個(gè)水平的自由度和所有軸的高動(dòng)態(tài)。
◆ 并聯(lián)運(yùn)動(dòng)實(shí)現(xiàn)更快的響應(yīng)時(shí)間和更高的多軸精度; ◆ 無摩擦柔性鉸鏈并聯(lián)導(dǎo)向可實(shí)現(xiàn)極高的運(yùn)動(dòng)精度; ◆ 高性能壓電陶瓷促動(dòng)器帶來超長使用壽命; ◆ 內(nèi)置精密位移傳感器進(jìn)行全閉環(huán)位置反饋,開/閉環(huán)可供選擇。
|
● 掃描顯微鏡 ● 超分辨率顯微鏡 ● 生物技術(shù) ● 掩模/晶圓定位 ● 樣本定位 ● 干涉測量 ● 計(jì)量 |
型號 |
P681C |
P682C |
P684C |
單位 |
公差 |
運(yùn)動(dòng)自由度 |
X,Y,Z,θx,θy,θz |
X,Y,Z,θx,θy,θz |
X,Y,Z,θx,θy,θz |
- |
- |
促動(dòng)器運(yùn)動(dòng)和定位 |
|
|
|
|
|
促動(dòng)器運(yùn)動(dòng)軸數(shù) |
6 |
6 |
6 |
- |
- |
傳感器類型 |
電容式,直接測量 |
電容式,直接測量 |
電容式,直接測量 |
- |
- |
開環(huán)行程[-20V~+150V] |
120 |
250 |
500 |
μm |
±20% |
閉環(huán)行程[0V~+120V] |
100 |
200 |
400 |
μm |
±20% |
開環(huán)分辨率 |
0.6 |
1.3 |
2.5 |
nm |
typ. |
閉環(huán)分辨率[16bit DAC] |
1.6 |
3.1 |
6.2 |
nm |
typ. |
閉環(huán)線性度 |
0.03 |
0.03 |
0.03 |
%F.S. |
typ. |
重復(fù)定位精度 |
±2 |
±3 |
±5 |
nm |
typ. |
納米臺(tái)運(yùn)動(dòng)行程 |
|
|
|
|
|
開環(huán)直線行程[-20V~+150V] |
120x120x120 |
250x250x250 |
500x500x500 |
μm |
±20% |
閉環(huán)直線行程[0V~+120V] |
100x100x100 |
200x200x200 |
400x400x400 |
μm |
±20% |
開環(huán)偏轉(zhuǎn)行程[-20V~+150V] |
2.5x2.5x2 |
5x5x4 |
10x10x8 |
mrad |
±20% |
閉環(huán)偏轉(zhuǎn)行程[0V~+120V] |
2x2x1.6 |
4x4x3.2 |
8x8x6.4 |
mrad |
±20% |
機(jī)械特性 |
|
|
|
|
|
運(yùn)動(dòng)方向剛度@X,Y,Z |
1.2/1.2/1.2 |
1.0/1.0/1.0 |
0.4/0.4/0.4 |
N/μm |
±20% |
空載諧振頻率@X,Y,Z |
140/140/230 |
120/120/200 |
50/50/90 |
Hz |
±20% |
運(yùn)動(dòng)方向推/拉力 |
50/25 |
50/25 |
25/25 |
N |
Max. |
承載能力 |
20 |
20 |
10 |
N |
Max. |
其他 |
|
|
|
|
|
工作溫度 |
-20~80 |
-20~80 |
-20~80 |
℃ |
- |
材質(zhì) |
鋁,鋼 |
鋁,鋼 |
鋁,鋼 |
- |
- |
外形尺寸 |
175x175x35 |
175x175x35 |
175x175x35 |
mm |
- |
通光孔徑 |
75x75 |
75x75 |
75x75 |
mm |
- |
重量 |
2.3 |
2.4 |
2.55 |
Kg |
±5% |
線纜長度 |
1.5 |
1.5 |
1.5 |
m |
±10mm |
連接器類型 |
LEMO│SMB |
LEMO│SMB |
LEMO│SMB |
- |
- |
注:最大驅(qū)動(dòng)電壓為-20V...+150V;對于高可靠的長期使用,建議驅(qū)動(dòng)電壓為0V...+120V。 |
? 基于無摩擦高精度柔性鉸鏈運(yùn)動(dòng)導(dǎo)向的壓電陶瓷納米定位系統(tǒng),系統(tǒng)分辨率僅受放大器噪聲和測量技術(shù)的限制。開環(huán)分辨率為受系統(tǒng)放大器噪聲限制所能達(dá)到的典型值。極低的系統(tǒng)定位噪聲可獲得滿行程十萬分之一以上的閉環(huán)分辨率。
? 各運(yùn)動(dòng)軸的行程范圍相互制約,此表中的數(shù)據(jù)為單軸可實(shí)現(xiàn)的最大行程。
壓電•納米•定位•運(yùn)動(dòng)•控制•系統(tǒng)解決方案
遼寧研生科技有限公司
掃描關(guān)注研生訂閱號,服務(wù)號