采用壓電陶瓷驅動的并聯(lián)式三維壓電納米定位平臺

納米級三維壓電掃描臺內置高性能壓電陶瓷，內部使用無摩擦及空回的柔性鉸鏈并聯(lián)導向機構，專為掃描系統(tǒng)應用設計，用于高分辨率快速掃描，高性價比的納米定位系統(tǒng)。三軸壓電掃描臺采用中空式并聯(lián)式結構設計，結構緊湊、易于集成，且中央通孔較大，可更好的適用于納米級精密定位掃描系統(tǒng)中。三軸并聯(lián)壓電掃描臺非常適合應用于超高精度的精密掃描系統(tǒng)中，可更好的集成于精密定位掃描系統(tǒng)中。

內置電容式精密位移傳感器，實現亞納米分辨率

壓電納米定位臺內置電容式精密位移傳感器進行全閉環(huán)的位置反饋，電容式傳感器以亞納米分辨率進行測量，且無接觸。它們可確保優(yōu)異的運動線性、長期穩(wěn)定性和千赫茲范圍的帶寬，確保納米定位臺具有極佳的運動控制精度，定位精度、分辨率和穩(wěn)定性可以達到納米量級，定位穩(wěn)定時間僅為毫秒量級。

無摩擦零間隙的柔性鉸鏈導向系統(tǒng)帶來高精度的運動導向

壓電納米位移臺內部使用無摩擦及空回的高精度柔性鉸鏈并聯(lián)導向系統(tǒng)，采用有限元仿真分析優(yōu)化柔性鉸鏈結構，柔性導向系統(tǒng)具有超高的導向精度，可提供超高平面度的納米掃描，柔性鉸鏈導向具有高剛性、高負載、無摩擦、無磨損、無需潤滑、免維護等特點。它們的剛性可實現高負載能力，且它們對沖擊和振動不敏感。真空兼容，可在很廣的溫度范圍內工作。

并聯(lián)式結構設計實現大承載、高精度、高動態(tài)的多軸并聯(lián)運動

壓電掃描平臺采用獨特的并聯(lián)式結構設計，結構緊湊。在并聯(lián)多軸運動定位系統(tǒng)中，所有促動器作用于同一個運動平臺，使所有軸具有最小的質量慣性和相同的動態(tài)性設計，使整體運動面具有更輕的質量和更低的慣量，可實現快速、高動態(tài)和高精密的多軸運動且每軸具有相同的動態(tài)性。相較于串聯(lián)式壓電掃描臺，并聯(lián)式壓電掃描臺具有更高的負載、更高的動態(tài)性和更優(yōu)的運動精度。

內置高性能壓電陶瓷促動器帶來超長使用壽命

壓電陶瓷促動器由環(huán)氧脂質涂層包裹，具有優(yōu)異的防潮特性，避免漏電流增大造成故障。壓電陶瓷促動器比傳統(tǒng)式壓電促動器的使用壽命更長，性能更穩(wěn)定，可實現無故障運行1000億個循環(huán)。

直接位置測量帶來超高的運動控制精度

位移變化可直接在納米運動平臺上測量，完全不受驅動或導向元件的影響。這樣可以實現最佳的重復定位精度、優(yōu)異的穩(wěn)定性和剛性、快速響應控制。

可提供適用于復雜真空應用版本

壓電陶瓷納米定位系統(tǒng)中使用的所有部件均非常適合于在真空環(huán)境中使用。操作無需潤滑劑或潤滑脂。壓電陶瓷納米定位系統(tǒng)可實現極低的排氣率。

采用無磁材質設計制造，不受磁場的影響

壓電納米位移臺為無磁材質，使用過程中不產生磁場同時也不受磁場的影響。

主動彌補串擾測量誤差，保證納米定位系統(tǒng)有效避免多軸運動串擾

研生PIEZOXYZ所研發(fā)的集成納米級電容位移傳感器的壓電陶瓷柔性鉸鏈位移臺，通過非接觸式多軸直接測量，實時檢測運動對另一個軸的串擾，主動彌補串擾測量誤差，保證納米定位系統(tǒng)有效避免多軸運動串擾，并且較高的傳感器帶寬可提供絕佳的動態(tài)性能。研生的低噪聲集成線性化納米定位系統(tǒng)在測量直線度和平面度方面技術優(yōu)勢顯著。

具有電容位移傳感器的高性能閉環(huán)多軸納米定位系統(tǒng)平臺，結合直接測量和并聯(lián)運動

研生PIEZOXYZ所研發(fā)的具有電容位移傳感器的高性能閉環(huán)多軸納米定位系統(tǒng)平臺，結合直接測量和并聯(lián)運動。在多軸壓電陶瓷納米定位系統(tǒng)中使用時，允許同時測量所有自由度，并積極彌補運動導向錯誤（主動軌跡控制概念），實時校準多軸運動誤差，有效避免串聯(lián)或疊層結構的定位系統(tǒng)所帶來的誤差疊加。電容傳感器是給出最佳定位分辨率結果的最精準的測量系統(tǒng)。

采用模塊化設計的顯微鏡系統(tǒng)

壓電陶瓷掃描臺發(fā)揮關鍵作用

以采用模塊化設計的顯微系統(tǒng)為例，如今模塊化的產品設計使得共聚焦拉曼顯微鏡、原子力顯微鏡和掃描近場光學顯微鏡(SNOM)可以真正完美地結合在一起。這些具有極高分辨率的方法都需要實現試片在全部三個運動軸方向上的高精度定位。

以極高位置分辨率和動態(tài)性能完成定位	掃描臺的關鍵作用
AFM原子力顯微鏡可提供精確的表面拓撲信息   定位系統(tǒng)需要提供良好的空間分辨率，因此試片掃描器的分辨率必須達到納米級別。與此同時，出色的動態(tài)性能也不可或缺，Z軸方向的移動速度越快，X和Y軸方向的定位也就越迅速。這樣可以縮短測量時間，從而降低可能存在的溫度漂移（溫度漂移會隨時間而增加）。	壓電陶瓷掃描臺在試片定位過程中起著非常關鍵的作用。掃描臺沿掃描平面兩個軸的設計行程為100 µm、沿Z軸方向的行程為100µm，位置分辨率高于2nm。 此外，掃描臺可利用傳感器實現主動引導，從而提高軌跡保真度：傳感器將檢測沿運動方向垂直軸的偏差。 掃描臺可實時檢測并主動補償運動中的無用串擾，并保證相應數字控制電路以高頻率實現所需控制，這是精準控制掃描器位置值和記錄照相機的關鍵所在。

 ? 基于無摩擦高精度柔性鉸鏈運動導向的壓電陶瓷納米定位系統(tǒng)，系統(tǒng)分辨率僅受放大器噪聲和測量技術的限制。開環(huán)分辨率為受系統(tǒng)放大器噪聲限制所能達到的典型值。極低的系統(tǒng)定位噪聲可獲得滿行程十萬分之一以上的閉環(huán)分辨率。