內(nèi)置電容式精密位移傳感器,實(shí)現(xiàn)亞納米分辨率
壓電掃描臺(tái)內(nèi)置電容式精密位移傳感器進(jìn)行全閉環(huán)的位置反饋,電容式傳感器以亞納米分辨率進(jìn)行測(cè)量,且無(wú)接觸。它們可確保優(yōu)異的運(yùn)動(dòng)線性、長(zhǎng)期穩(wěn)定性和千赫茲范圍的帶寬,確保納米掃描臺(tái)具有極佳的運(yùn)動(dòng)控制精度,定位精度、分辨率和穩(wěn)定性可以達(dá)到納米量級(jí),定位穩(wěn)定時(shí)間僅為毫秒量級(jí)。
內(nèi)置高性能壓電陶瓷促動(dòng)器帶來(lái)超長(zhǎng)使用壽命
壓電陶瓷促動(dòng)器由環(huán)氧脂質(zhì)涂層包裹,具有優(yōu)異的防潮特性,避免漏電流增大造成故障。壓電陶瓷促動(dòng)器比傳統(tǒng)式壓電促動(dòng)器的使用壽命更長(zhǎng),性能更穩(wěn)定,可實(shí)現(xiàn)無(wú)故障運(yùn)行1000億個(gè)循環(huán)。
直接位置測(cè)量帶來(lái)超高的運(yùn)動(dòng)控制精度
位移變化可直接在納米運(yùn)動(dòng)平臺(tái)上測(cè)量,完全不受驅(qū)動(dòng)或?qū)蛟挠绊?。這樣可以實(shí)現(xiàn)最佳的重復(fù)定位精度、優(yōu)異的穩(wěn)定性和剛性、快速響應(yīng)控制。
采用壓電陶瓷驅(qū)動(dòng)的Z向和Tip/Tilt壓電納米定位掃描臺(tái)
壓電Z/偏擺臺(tái)內(nèi)置高性能壓電陶瓷,專(zhuān)為Z軸和θx、θx軸偏擺運(yùn)動(dòng)的納米級(jí)精密掃描與定位應(yīng)用而設(shè)計(jì)的壓電掃描臺(tái),實(shí)現(xiàn)高分辨率高精度的掃描與定位,內(nèi)部使用無(wú)回差柔性鉸鏈并聯(lián)導(dǎo)向結(jié)構(gòu),結(jié)構(gòu)緊湊、易于集成。中空式設(shè)計(jì),且中央通孔較大,可更好的集成于顯微及掃描系統(tǒng)中。
無(wú)摩擦零間隙的柔性鉸鏈導(dǎo)向系統(tǒng)帶來(lái)高精度的運(yùn)動(dòng)導(dǎo)向
壓電平臺(tái)內(nèi)部使用無(wú)摩擦及空回的高精度柔性鉸鏈并聯(lián)導(dǎo)向系統(tǒng),采用有限元仿真分析優(yōu)化柔性鉸鏈結(jié)構(gòu),柔性導(dǎo)向系統(tǒng)具有超高的導(dǎo)向精度,可提供超高平面度的納米掃描,柔性鉸鏈導(dǎo)向具有高剛性、高負(fù)載、無(wú)摩擦、無(wú)磨損、無(wú)需潤(rùn)滑、免維護(hù)等特點(diǎn)。它們的剛性可實(shí)現(xiàn)高負(fù)載能力,且它們對(duì)沖擊和振動(dòng)不敏感。真空兼容,可在很廣的溫度范圍內(nèi)工作。
采用無(wú)磁材質(zhì)設(shè)計(jì)制造,不受磁場(chǎng)的影響
壓電納米位移臺(tái)為無(wú)磁材質(zhì),使用過(guò)程中不產(chǎn)生磁場(chǎng)同時(shí)也不受磁場(chǎng)的影響。
可提供適用于復(fù)雜真空應(yīng)用版本
壓電陶瓷納米定位系統(tǒng)中使用的所有部件均非常適合于在真空環(huán)境中使用。操作無(wú)需潤(rùn)滑劑或潤(rùn)滑脂。壓電陶瓷納米定位系統(tǒng)可實(shí)現(xiàn)極低的排氣率。
并聯(lián)式結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)實(shí)現(xiàn)大承載、高精度、高動(dòng)態(tài)的多軸并聯(lián)運(yùn)動(dòng)
壓電掃描平臺(tái)采用獨(dú)特的并聯(lián)式結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì),結(jié)構(gòu)緊湊。在并聯(lián)多軸運(yùn)動(dòng)定位系統(tǒng)中,所有促動(dòng)器作用于同一個(gè)運(yùn)動(dòng)平臺(tái),使所有軸具有最小的質(zhì)量慣性和相同的動(dòng)態(tài)性設(shè)計(jì),使整體運(yùn)動(dòng)面具有更輕的質(zhì)量和更低的慣量,從而實(shí)現(xiàn)快速、高動(dòng)態(tài)和高精密的多軸運(yùn)動(dòng)且每軸具有相同的動(dòng)態(tài)性。相較于串聯(lián)式壓電掃描臺(tái),并聯(lián)式壓電掃描臺(tái)具有更高的負(fù)載、更高的動(dòng)態(tài)性和更優(yōu)的運(yùn)動(dòng)精度。
應(yīng)用于天文望遠(yuǎn)鏡、激光通訊、自適應(yīng)光學(xué)、復(fù)合軸精密跟蹤等領(lǐng)域
快速反射鏡系統(tǒng)(FSM)作為發(fā)射光源與接收端之間控制光束傳播方向的精密光學(xué)儀器,集光、機(jī)、電技術(shù)于一身,內(nèi)置的精密壓電掃描臺(tái)作為核心部件發(fā)揮著重要的作用,憑借其高精度、高分辨率、快速響應(yīng)等優(yōu)點(diǎn),已被廣泛應(yīng)用于天文望遠(yuǎn)鏡、激光通訊、自適應(yīng)光學(xué)、復(fù)合軸精密跟蹤等領(lǐng)域。
集成電容位移傳感器的壓電陶瓷柔性鉸鏈偏擺運(yùn)動(dòng)系統(tǒng)可精確測(cè)量偏擺運(yùn)動(dòng)
將電容位移傳感器集成在壓電陶瓷偏擺運(yùn)動(dòng)控制系統(tǒng)中可精確測(cè)量偏擺運(yùn)動(dòng),可差動(dòng)測(cè)量移動(dòng)的物理偏轉(zhuǎn)角,并在需要的情況下進(jìn)行補(bǔ)償。研生PIEZOXYZ的多軸偏擺納米定位系統(tǒng)中,允許同時(shí)測(cè)量所有自由度,并積極彌補(bǔ)導(dǎo)向錯(cuò)誤(主動(dòng)軌跡控制概念),有效避免多軸串?dāng)_誤差,配置有研生PIEZOXYZ電容位置傳感器的納米定位運(yùn)動(dòng)控制系統(tǒng)憑借其最佳的定位分辨率使其成為最精準(zhǔn)測(cè)量的運(yùn)動(dòng)控制系統(tǒng)。
◆ 復(fù)合式柔性鉸鏈導(dǎo)向結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)可實(shí)現(xiàn)更高的水平和垂直承載能力;
◆ 并聯(lián)運(yùn)動(dòng)設(shè)計(jì)可實(shí)現(xiàn)更高精度和動(dòng)態(tài)性;
◆ 無(wú)摩擦柔性鉸鏈并聯(lián)導(dǎo)向可實(shí)現(xiàn)極高的運(yùn)動(dòng)精度;
◆ 高性能壓電陶瓷促動(dòng)器帶來(lái)超長(zhǎng)使用壽命;
◆ 內(nèi)置精密位移傳感器進(jìn)行全閉環(huán)位置反饋,開(kāi)/閉環(huán)可供選擇。
|
● 計(jì)量
● 干涉測(cè)量
● 光子學(xué)/集成光學(xué)
● 平版印刷術(shù)
● 納米定位
● 掃描顯微鏡
● 樣本對(duì)準(zhǔn)
● 微加工
|
型號(hào)
|
P630C
|
P631C
|
P632C
|
P634C
|
單位
|
公差
|
促動(dòng)器運(yùn)動(dòng)和定位
|
|
|
|
|
|
|
促動(dòng)器軸數(shù)
|
3
|
3
|
3
|
3
|
-
|
-
|
傳感器類(lèi)型
|
電容式,直接測(cè)量
|
電容式,直接測(cè)量
|
電容式,直接測(cè)量
|
電容式,直接測(cè)量
|
-
|
-
|
開(kāi)環(huán)行程[-20V~+150V]
|
50x50
|
120
|
250
|
500
|
μm
|
±20%
|
閉環(huán)行程[0V~+120V]
|
40x40
|
100
|
200
|
400
|
μm
|
±20%
|
開(kāi)環(huán)分辨率
|
0.3
|
0.6
|
1.3
|
2.5
|
nm
|
typ.
|
閉環(huán)分辨率[16bit DAC]
|
0.7
|
1.6
|
3.1
|
6.2
|
nm
|
typ.
|
閉環(huán)線性度
|
0.05
|
0.03
|
0.03
|
0.03
|
%F.S.
|
typ.
|
重復(fù)定位精度
|
±2
|
±2
|
±3
|
±5
|
nm
|
typ.
|
納米臺(tái)運(yùn)動(dòng)行程
|
|
|
|
|
|
|
主動(dòng)軸
|
Z,θx,θy
|
Z,θx,θy
|
Z,θx,θy
|
Z,θx,θy
|
-
|
-
|
開(kāi)環(huán)直線行程[-20V~+150V]
|
50
|
120
|
250
|
500
|
μm
|
±20%
|
閉環(huán)直線行程[0V~+120V]
|
40
|
100
|
200
|
400
|
μm
|
±20%
|
開(kāi)環(huán)偏轉(zhuǎn)行程[-20V~+150V]
|
1x1
|
2.5x2.5
|
5x5
|
10x10
|
mrad
|
±20%
|
閉環(huán)偏轉(zhuǎn)行程[0V~+120V]
|
0.8x0.8
|
2x2
|
4x4
|
8x8
|
mrad
|
±20%
|
機(jī)械特性
|
|
|
|
|
|
|
運(yùn)動(dòng)方向剛度
|
1.2
|
0.8
|
0.6
|
0.2
|
N/μm
|
±20%
|
空載諧振頻率@Z
|
350
|
240
|
175
|
110
|
Hz
|
±20%
|
空載諧振頻率@θx,θy
|
260/260
|
220/220
|
170/170
|
100/100
|
Hz
|
±20%
|
運(yùn)動(dòng)方向推/拉力
|
50/25
|
50/25
|
50/25
|
25/25
|
N
|
Max.
|
承載能力
|
20
|
20
|
20
|
10
|
N
|
Max.
|
其他
|
|
|
|
|
|
|
工作溫度
|
-20~80
|
-20~80
|
-20~80
|
-20~80
|
℃
|
-
|
材質(zhì)
|
鋁,鋼
|
鋁,鋼
|
鋁,鋼
|
鋁,鋼
|
-
|
-
|
外形尺寸
|
150x150x35
|
150x150x35
|
150x150x35
|
150x150x35
|
mm
|
-
|
通光孔徑
|
75x75
|
75x75
|
75x75
|
75x75
|
mm
|
-
|
重量
|
1.4
|
1.4
|
1.5
|
1.6
|
Kg
|
±5%
|
線纜長(zhǎng)度
|
1.5
|
1.5
|
1.5
|
1.5
|
m
|
±10mm
|
連接器類(lèi)型
|
LEMO│SMB
|
LEMO│SMB
|
LEMO│SMB
|
LEMO│SMB
|
-
|
-
|
注:最大驅(qū)動(dòng)電壓為-20V...+150V;對(duì)于高可靠的長(zhǎng)期使用,建議驅(qū)動(dòng)電壓為0V...+120V。
|
? 基于無(wú)摩擦高精度柔性鉸鏈運(yùn)動(dòng)導(dǎo)向的壓電陶瓷納米定位系統(tǒng),系統(tǒng)分辨率僅受放大器噪聲和測(cè)量技術(shù)的限制。開(kāi)環(huán)分辨率為受系統(tǒng)放大器噪聲限制所能達(dá)到的典型值。極低的系統(tǒng)定位噪聲可獲得滿(mǎn)行程十萬(wàn)分之一以上的閉環(huán)分辨率。
? 各運(yùn)動(dòng)軸的行程范圍相互制約,此表中的數(shù)據(jù)為單軸可實(shí)現(xiàn)的最大行程。