国产乱婬AV片免费_国产精品久久久久久久AV电影_亚洲无码AV在线播放_99r视频精品在线免费播放_国产精品v欧美精品_日韩中文无码有码免费视频_亚洲免费日韩无码系列

內(nèi)置電容式精密位移傳感器,實(shí)現(xiàn)亞納米分辨率

壓電掃描臺(tái)內(nèi)置電容式精密位移傳感器進(jìn)行全閉環(huán)的位置反饋,電容式傳感器以亞納米分辨率進(jìn)行測(cè)量,且無(wú)接觸。它們可確保優(yōu)異的運(yùn)動(dòng)線(xiàn)性、長(zhǎng)期穩(wěn)定性和千赫茲范圍的帶寬,確保納米掃描臺(tái)具有極佳的運(yùn)動(dòng)控制精度,定位精度、分辨率和穩(wěn)定性可以達(dá)到納米量級(jí),定位穩(wěn)定時(shí)間僅為毫秒量級(jí)。

 

內(nèi)置高性能壓電陶瓷促動(dòng)器帶來(lái)超長(zhǎng)使用壽命

壓電陶瓷促動(dòng)器由環(huán)氧脂質(zhì)涂層包裹,具有優(yōu)異的防潮特性,避免漏電流增大造成故障。壓電陶瓷促動(dòng)器比傳統(tǒng)式壓電促動(dòng)器的使用壽命更長(zhǎng),性能更穩(wěn)定,可實(shí)現(xiàn)無(wú)故障運(yùn)行1000億個(gè)循環(huán)。

 

采用壓電陶瓷驅(qū)動(dòng)的Z向納米級(jí)壓電陶瓷掃描臺(tái)

Z向壓電掃描臺(tái)內(nèi)置高性能壓電陶瓷,專(zhuān)為Z軸納米級(jí)精密掃描與定位應(yīng)用而設(shè)計(jì)的壓電掃描臺(tái),實(shí)現(xiàn)高分辨率高精度的掃描與定位,結(jié)構(gòu)緊湊、易于集成。中空式設(shè)計(jì),且中央通孔較大,可更好的集成于顯微及掃描系統(tǒng)中。大中空式壓電掃描臺(tái)被廣泛應(yīng)用于掃描顯微鏡、光學(xué)、光刻、存儲(chǔ)設(shè)備測(cè)試、激光技術(shù)、微加工、半導(dǎo)體測(cè)試、干涉測(cè)量等。

  

無(wú)摩擦零間隙的柔性鉸鏈導(dǎo)向系統(tǒng)帶來(lái)高精度的運(yùn)動(dòng)導(dǎo)向

壓電掃描臺(tái)內(nèi)部使用無(wú)摩擦及空回的高精度柔性鉸鏈并聯(lián)導(dǎo)向系統(tǒng),采用有限元仿真分析優(yōu)化柔性鉸鏈結(jié)構(gòu),柔性導(dǎo)向系統(tǒng)具有超高的導(dǎo)向精度,可提供超高平面度的納米掃描,柔性鉸鏈導(dǎo)向具有高剛性、高負(fù)載、無(wú)摩擦、無(wú)磨損、無(wú)需潤(rùn)滑、免維護(hù)等特點(diǎn)。它們的剛性可實(shí)現(xiàn)高負(fù)載能力,且它們對(duì)沖擊和振動(dòng)不敏感。真空兼容,可在很廣的溫度范圍內(nèi)工作。

 

采用無(wú)磁材質(zhì)設(shè)計(jì)制造,不受磁場(chǎng)的影響

壓電納米掃描臺(tái)為無(wú)磁材質(zhì),使用過(guò)程中不產(chǎn)生磁場(chǎng)同時(shí)也不受磁場(chǎng)的影響。

 

可提供適用于復(fù)雜真空應(yīng)用版本

壓電陶瓷納米定位系統(tǒng)中使用的所有部件均非常適合于在真空環(huán)境中使用。操作無(wú)需潤(rùn)滑劑或潤(rùn)滑脂。壓電陶瓷納米定位系統(tǒng)可實(shí)現(xiàn)極低的排氣率。

 

并聯(lián)式結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)實(shí)現(xiàn)大承載、高精度、高動(dòng)態(tài)的多軸并聯(lián)運(yùn)動(dòng)

壓電掃描平臺(tái)采用獨(dú)特的并聯(lián)式結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì),結(jié)構(gòu)緊湊。在并聯(lián)多軸運(yùn)動(dòng)定位系統(tǒng)中,所有促動(dòng)器作用于同一個(gè)運(yùn)動(dòng)平臺(tái),使所有軸具有最小的質(zhì)量慣性和相同的動(dòng)態(tài)性設(shè)計(jì),使整體運(yùn)動(dòng)面具有更輕的質(zhì)量和更低的慣量,從而實(shí)現(xiàn)快速、高動(dòng)態(tài)和高精密的多軸運(yùn)動(dòng)且每軸具有相同的動(dòng)態(tài)性。相較于串聯(lián)式壓電掃描臺(tái),并聯(lián)式壓電掃描臺(tái)具有更高的負(fù)載、更高的動(dòng)態(tài)性和更優(yōu)的運(yùn)動(dòng)精度。

 

直接位置測(cè)量帶來(lái)超高的運(yùn)動(dòng)控制精度

位移變化可直接在納米運(yùn)動(dòng)平臺(tái)上測(cè)量,完全不受驅(qū)動(dòng)或?qū)蛟挠绊?。這樣可以實(shí)現(xiàn)最佳的重復(fù)定位精度、優(yōu)異的穩(wěn)定性和剛性、快速響應(yīng)控制。

 

納米級(jí)電容位移傳感器可達(dá)到的精度分辨率是納米級(jí)范圍

                            

研生PIEZOXYZ研發(fā)生產(chǎn)的納米級(jí)電容位移傳感器通過(guò)測(cè)量使用均勻電場(chǎng)的傳感器探頭和移動(dòng)目標(biāo)表面之間的電容的變化,絕對(duì)值通過(guò)經(jīng)調(diào)整、校準(zhǔn)的系統(tǒng)確定,最小距離偏差通過(guò)無(wú)接觸在長(zhǎng)距離基礎(chǔ)上測(cè)量,可達(dá)到的精度分辨率是納米級(jí)范圍,可有效測(cè)量最短的距離,高分辨率位移測(cè)量中的納米定位應(yīng)用。通過(guò)雙極板電容傳感器測(cè)量移動(dòng)物體最大精度的直接距離和實(shí)際位置。無(wú)接觸測(cè)量高分辨力傳感器具有較高的傳感器帶寬,可滿(mǎn)足動(dòng)態(tài)應(yīng)用中的閉環(huán)控制。

                                                                                     

◆ 復(fù)合式柔性鉸鏈導(dǎo)向結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)可實(shí)現(xiàn)更高的水平和垂直承載能力;

◆ 無(wú)摩擦柔性鉸鏈并聯(lián)導(dǎo)向可實(shí)現(xiàn)極高的運(yùn)動(dòng)精度;

◆ 高性能壓電陶瓷促動(dòng)器帶來(lái)超長(zhǎng)使用壽命;

◆ 內(nèi)置精密位移傳感器進(jìn)行全閉環(huán)位置反饋,開(kāi)/閉環(huán)可供選擇。

● 計(jì)量

● 干涉測(cè)量

● 光子學(xué)/集成光學(xué)

● 平版印刷術(shù)

● 納米定位

● 掃描顯微鏡

● 樣本對(duì)準(zhǔn)

● 微加工

                                                                                                    

                                                 

型號(hào)

P620C

P621C

P622C

P624C

單位

公差

主動(dòng)軸

Z

Z

Z

Z

-

-

運(yùn)動(dòng)和定位

 

 

 

 

 

 

傳感器類(lèi)型

電容式,直接測(cè)量

電容式,直接測(cè)量

電容式,直接測(cè)量

電容式,直接測(cè)量

-

-

開(kāi)環(huán)行程[-20V~+150V]

60

120

250

500

μm

±20%

閉環(huán)行程[0V~+120V]

50

100

200

400

μm

±20%

開(kāi)環(huán)分辨率

0.3

0.6

1.3

2.5

nm

typ.

閉環(huán)分辨率[16bit DAC]

0.8

1.6

3.1

6.2

nm

typ.

閉環(huán)線(xiàn)性度

0.05

0.03

0.03

0.03

%F.S.

typ.

重復(fù)定位精度

±2

±2

±3

±5

nm

typ.

機(jī)械特性

 

 

 

 

 

 

運(yùn)動(dòng)方向剛度

3

2.8

2.2

0.8

N/μm

±20%

空載諧振頻率

570

500

350

230

Hz

±20%

運(yùn)動(dòng)方向推/拉力

100/100

100/100

100/100

100/100

N

Max.

承載能力

50

50

50

50

N

Max.

其他

 

 

 

 

 

 

工作溫度

-20~80

-20~80

-20~80

-20~80

-

材質(zhì)

鋁,鋼

鋁,鋼

鋁,鋼

鋁,鋼

-

-

外形尺寸

150x150x35

150x150x35

150x150x35

150x150x35

mm

-

通光孔徑

75x75

75x75

75x75

75x75

mm

-

重量

1.4

1.4

1.5

1.6

Kg

±5%

線(xiàn)纜長(zhǎng)度

1.5

1.5

1.5

1.5

m

±10cm

連接器類(lèi)型

LEMO│SMB

LEMO│SMB

LEMO│SMB

LEMO│SMB

-

-

注:最大驅(qū)動(dòng)電壓為-20V...+150V;對(duì)于高可靠的長(zhǎng)期使用,建議驅(qū)動(dòng)電壓為0V...+120V。

? 基于無(wú)摩擦高精度柔性鉸鏈運(yùn)動(dòng)導(dǎo)向的壓電陶瓷納米定位系統(tǒng),系統(tǒng)分辨率僅受放大器噪聲和測(cè)量技術(shù)的限制。開(kāi)環(huán)分辨率為受系統(tǒng)放大器噪聲限制所能達(dá)到的典型值。極低的系統(tǒng)定位噪聲可獲得滿(mǎn)行程十萬(wàn)分之一以上的閉環(huán)分辨率。

配套控制器

相關(guān)產(chǎn)品

<u id="m1wxa"></u>
<span id="m1wxa"><noframes id="m1wxa"><span id="m1wxa"></span>