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- XZ行程≤50μm
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一維壓電平移臺(tái)【X】
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二維壓電偏擺臺(tái)【θxθy】
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三維壓電偏擺臺(tái)【Zθxθy】
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三維壓電納米臺(tái)【XYθz】
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六維壓電位移臺(tái)【XYZθxθyθz】
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一維壓電平移臺(tái)【X】
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Z向壓電掃描臺(tái) ║P624C
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運(yùn)動(dòng)軸Z
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傳感器類(lèi)型CAP 電容式,直接測(cè)量
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標(biāo)稱(chēng)行程400μm
-
結(jié)構(gòu)類(lèi)型復(fù)合放大式結(jié)構(gòu)
產(chǎn)品參數(shù)
研生提供高精度的CAP電容傳感器版本納米定位臺(tái),
也提供低成本的SGS電阻應(yīng)變片版本的納米定位臺(tái)。
傳感器類(lèi)型 |
SGS 電阻應(yīng)變片
|
CAP 電容式 |
測(cè)量方式 |
間接測(cè)量,誤差大
|
直接測(cè)量,精準(zhǔn) |
定位精度 |
0.03%F.S. ~ 0.05%F.S.
以行程100μm為例,
重復(fù)精度:30~50nm
|
0.001%F.S. ~ 0.002%F.S.
以行程100μm為例,
重復(fù)精度可達(dá):±1nm |
內(nèi)置電容式精密位移傳感器,實(shí)現(xiàn)亞納米分辨率
壓電掃描臺(tái)內(nèi)置電容式精密位移傳感器進(jìn)行全閉環(huán)的位置反饋,電容式傳感器以亞納米分辨率進(jìn)行測(cè)量,且無(wú)接觸。它們可確保優(yōu)異的運(yùn)動(dòng)線(xiàn)性、長(zhǎng)期穩(wěn)定性和千赫茲范圍的帶寬,確保納米掃描臺(tái)具有極佳的運(yùn)動(dòng)控制精度,定位精度、分辨率和穩(wěn)定性可以達(dá)到納米量級(jí),定位穩(wěn)定時(shí)間僅為毫秒量級(jí)。
內(nèi)置高性能壓電陶瓷促動(dòng)器帶來(lái)超長(zhǎng)使用壽命
壓電陶瓷促動(dòng)器由環(huán)氧脂質(zhì)涂層包裹,具有優(yōu)異的防潮特性,避免漏電流增大造成故障。壓電陶瓷促動(dòng)器比傳統(tǒng)式壓電促動(dòng)器的使用壽命更長(zhǎng),性能更穩(wěn)定,可實(shí)現(xiàn)無(wú)故障運(yùn)行1000億個(gè)循環(huán)。
采用壓電陶瓷驅(qū)動(dòng)的Z向納米級(jí)壓電陶瓷掃描臺(tái)
Z向壓電掃描臺(tái)內(nèi)置高性能壓電陶瓷,專(zhuān)為Z軸納米級(jí)精密掃描與定位應(yīng)用而設(shè)計(jì)的壓電掃描臺(tái),實(shí)現(xiàn)高分辨率高精度的掃描與定位,結(jié)構(gòu)緊湊、易于集成。中空式設(shè)計(jì),且中央通孔較大,可更好的集成于顯微及掃描系統(tǒng)中。大中空式壓電掃描臺(tái)被廣泛應(yīng)用于掃描顯微鏡、光學(xué)、光刻、存儲(chǔ)設(shè)備測(cè)試、激光技術(shù)、微加工、半導(dǎo)體測(cè)試、干涉測(cè)量等。
無(wú)摩擦零間隙的柔性鉸鏈導(dǎo)向系統(tǒng)帶來(lái)高精度的運(yùn)動(dòng)導(dǎo)向
壓電掃描臺(tái)內(nèi)部使用無(wú)摩擦及空回的高精度柔性鉸鏈并聯(lián)導(dǎo)向系統(tǒng),采用有限元仿真分析優(yōu)化柔性鉸鏈結(jié)構(gòu),柔性導(dǎo)向系統(tǒng)具有超高的導(dǎo)向精度,可提供超高平面度的納米掃描,柔性鉸鏈導(dǎo)向具有高剛性、高負(fù)載、無(wú)摩擦、無(wú)磨損、無(wú)需潤(rùn)滑、免維護(hù)等特點(diǎn)。它們的剛性可實(shí)現(xiàn)高負(fù)載能力,且它們對(duì)沖擊和振動(dòng)不敏感。真空兼容,可在很廣的溫度范圍內(nèi)工作。
采用無(wú)磁材質(zhì)設(shè)計(jì)制造,不受磁場(chǎng)的影響
壓電納米掃描臺(tái)為無(wú)磁材質(zhì),使用過(guò)程中不產(chǎn)生磁場(chǎng)同時(shí)也不受磁場(chǎng)的影響。
可提供適用于復(fù)雜真空應(yīng)用版本
壓電陶瓷納米定位系統(tǒng)中使用的所有部件均非常適合于在真空環(huán)境中使用。操作無(wú)需潤(rùn)滑劑或潤(rùn)滑脂。壓電陶瓷納米定位系統(tǒng)可實(shí)現(xiàn)極低的排氣率。
并聯(lián)式結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)實(shí)現(xiàn)大承載、高精度、高動(dòng)態(tài)的多軸并聯(lián)運(yùn)動(dòng)
壓電掃描平臺(tái)采用獨(dú)特的并聯(lián)式結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì),結(jié)構(gòu)緊湊。在并聯(lián)多軸運(yùn)動(dòng)定位系統(tǒng)中,所有促動(dòng)器作用于同一個(gè)運(yùn)動(dòng)平臺(tái),使所有軸具有最小的質(zhì)量慣性和相同的動(dòng)態(tài)性設(shè)計(jì),使整體運(yùn)動(dòng)面具有更輕的質(zhì)量和更低的慣量,從而實(shí)現(xiàn)快速、高動(dòng)態(tài)和高精密的多軸運(yùn)動(dòng)且每軸具有相同的動(dòng)態(tài)性。相較于串聯(lián)式壓電掃描臺(tái),并聯(lián)式壓電掃描臺(tái)具有更高的負(fù)載、更高的動(dòng)態(tài)性和更優(yōu)的運(yùn)動(dòng)精度。
直接位置測(cè)量帶來(lái)超高的運(yùn)動(dòng)控制精度
位移變化可直接在納米運(yùn)動(dòng)平臺(tái)上測(cè)量,完全不受驅(qū)動(dòng)或?qū)蛟挠绊?。這樣可以實(shí)現(xiàn)最佳的重復(fù)定位精度、優(yōu)異的穩(wěn)定性和剛性、快速響應(yīng)控制。
納米級(jí)電容位移傳感器可達(dá)到的精度分辨率是納米級(jí)范圍
研生PIEZOXYZ研發(fā)生產(chǎn)的納米級(jí)電容位移傳感器通過(guò)測(cè)量使用均勻電場(chǎng)的傳感器探頭和移動(dòng)目標(biāo)表面之間的電容的變化,絕對(duì)值通過(guò)經(jīng)調(diào)整、校準(zhǔn)的系統(tǒng)確定,最小距離偏差通過(guò)無(wú)接觸在長(zhǎng)距離基礎(chǔ)上測(cè)量,可達(dá)到的精度分辨率是納米級(jí)范圍,可有效測(cè)量最短的距離,高分辨率位移測(cè)量中的納米定位應(yīng)用。通過(guò)雙極板電容傳感器測(cè)量移動(dòng)物體最大精度的直接距離和實(shí)際位置。無(wú)接觸測(cè)量高分辨力傳感器具有較高的傳感器帶寬,可滿(mǎn)足動(dòng)態(tài)應(yīng)用中的閉環(huán)控制。
◆ 復(fù)合式柔性鉸鏈導(dǎo)向結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)可實(shí)現(xiàn)更高的水平和垂直承載能力; ◆ 無(wú)摩擦柔性鉸鏈并聯(lián)導(dǎo)向可實(shí)現(xiàn)極高的運(yùn)動(dòng)精度; ◆ 高性能壓電陶瓷促動(dòng)器帶來(lái)超長(zhǎng)使用壽命; ◆ 內(nèi)置精密位移傳感器進(jìn)行全閉環(huán)位置反饋,開(kāi)/閉環(huán)可供選擇。 |
● 計(jì)量 ● 干涉測(cè)量 ● 光子學(xué)/集成光學(xué) ● 平版印刷術(shù) ● 納米定位 ● 掃描顯微鏡 ● 樣本對(duì)準(zhǔn) ● 微加工 |
型號(hào) |
P620C |
P621C |
P622C |
P624C |
單位 |
公差 |
主動(dòng)軸 |
Z |
Z |
Z |
Z |
- |
- |
運(yùn)動(dòng)和定位 |
|
|
|
|
|
|
傳感器類(lèi)型 |
電容式,直接測(cè)量 |
電容式,直接測(cè)量 |
電容式,直接測(cè)量 |
電容式,直接測(cè)量 |
- |
- |
開(kāi)環(huán)行程[-20V~+150V] |
60 |
120 |
250 |
500 |
μm |
±20% |
閉環(huán)行程[0V~+120V] |
50 |
100 |
200 |
400 |
μm |
±20% |
開(kāi)環(huán)分辨率 |
0.3 |
0.6 |
1.3 |
2.5 |
nm |
typ. |
閉環(huán)分辨率[16bit DAC] |
0.8 |
1.6 |
3.1 |
6.2 |
nm |
typ. |
閉環(huán)線(xiàn)性度 |
0.05 |
0.03 |
0.03 |
0.03 |
%F.S. |
typ. |
重復(fù)定位精度 |
±2 |
±2 |
±3 |
±5 |
nm |
typ. |
機(jī)械特性 |
|
|
|
|
|
|
運(yùn)動(dòng)方向剛度 |
3 |
2.8 |
2.2 |
0.8 |
N/μm |
±20% |
空載諧振頻率 |
570 |
500 |
350 |
230 |
Hz |
±20% |
運(yùn)動(dòng)方向推/拉力 |
100/100 |
100/100 |
100/100 |
100/100 |
N |
Max. |
承載能力 |
50 |
50 |
50 |
50 |
N |
Max. |
其他 |
|
|
|
|
|
|
工作溫度 |
-20~80 |
-20~80 |
-20~80 |
-20~80 |
℃ |
- |
材質(zhì) |
鋁,鋼 |
鋁,鋼 |
鋁,鋼 |
鋁,鋼 |
- |
- |
外形尺寸 |
150x150x35 |
150x150x35 |
150x150x35 |
150x150x35 |
mm |
- |
通光孔徑 |
75x75 |
75x75 |
75x75 |
75x75 |
mm |
- |
重量 |
1.4 |
1.4 |
1.5 |
1.6 |
Kg |
±5% |
線(xiàn)纜長(zhǎng)度 |
1.5 |
1.5 |
1.5 |
1.5 |
m |
±10cm |
連接器類(lèi)型 |
LEMO│SMB |
LEMO│SMB |
LEMO│SMB |
LEMO│SMB |
- |
- |
注:最大驅(qū)動(dòng)電壓為-20V...+150V;對(duì)于高可靠的長(zhǎng)期使用,建議驅(qū)動(dòng)電壓為0V...+120V。 |
? 基于無(wú)摩擦高精度柔性鉸鏈運(yùn)動(dòng)導(dǎo)向的壓電陶瓷納米定位系統(tǒng),系統(tǒng)分辨率僅受放大器噪聲和測(cè)量技術(shù)的限制。開(kāi)環(huán)分辨率為受系統(tǒng)放大器噪聲限制所能達(dá)到的典型值。極低的系統(tǒng)定位噪聲可獲得滿(mǎn)行程十萬(wàn)分之一以上的閉環(huán)分辨率。
壓電•納米•定位•運(yùn)動(dòng)•控制•系統(tǒng)解決方案
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