并聯(lián)式結構設計實現(xiàn)大承載、高精度、高動態(tài)的多軸并聯(lián)運動

壓電掃描平臺采用獨特的并聯(lián)式結構設計，結構緊湊。在并聯(lián)多軸運動定位系統(tǒng)中，所有促動器作用于同一個運動平臺，使所有軸具有最小的質量慣性和相同的動態(tài)性設計，使整體運動面具有更輕的質量和更低的慣量，可實現(xiàn)快速、高動態(tài)和高精密的多軸運動且每軸具有相同的動態(tài)性。相較于串聯(lián)式壓電掃描臺，并聯(lián)式壓電掃描臺具有更高的負載、更高的動態(tài)性和更優(yōu)的運動精度。

采用壓電陶瓷驅動的納米級Z軸壓電顯微掃描臺

壓電顯微掃描平臺內置高性能壓電陶瓷，專為顯微掃描系統(tǒng)應用設計，用于高分辨率顯微鏡的高性價比納米定位系統(tǒng)，結構緊湊、易于集成，壓電顯微掃描臺非常適合應用于超高精度的顯微掃描系統(tǒng)中，超大中空式超薄設計，中央通光孔較大，專為安放載玻片或樣品皿設計，可更好的集成于顯微及掃描系統(tǒng)中。通過優(yōu)化設計，更好的匹配主流制造商設計的產品，用于顯微掃描、跟蹤、高分辨率顯微鏡、倒置顯微鏡、共聚焦顯微鏡、篩選、三維成像、生物技術、干涉和計量等領域。

無摩擦零間隙的柔性鉸鏈導向系統(tǒng)帶來高精度的運動導向

壓電顯微掃描臺內部使用無摩擦及空回的高精度柔性鉸鏈并聯(lián)導向系統(tǒng)，采用有限元仿真分析優(yōu)化柔性鉸鏈結構，柔性導向系統(tǒng)具有超高的導向精度，可提供超高平面度的納米掃描，柔性鉸鏈導向具有高剛性、高負載、無摩擦、無磨損、無需潤滑、免維護等特點。它們的剛性可實現(xiàn)高負載能力，且它們對沖擊和振動不敏感。真空兼容，可在很廣的溫度范圍內工作。

采用無磁材質設計制造，不受磁場的影響

壓電納米掃描臺為無磁材質，使用過程中不產生磁場同時也不受磁場的影響。

內置電容式精密位移傳感器，實現(xiàn)亞納米分辨率

壓電納米顯微掃描臺內置電容式精密位移傳感器進行全閉環(huán)的位置反饋，電容式傳感器以亞納米分辨率進行測量，且無接觸。它們可確保優(yōu)異的運動線性、長期穩(wěn)定性和千赫茲范圍的帶寬，確保納米顯微掃描臺具有極佳的運動控制精度，定位精度、分辨率和穩(wěn)定性可以達到納米量級，定位穩(wěn)定時間僅為毫秒量級。

內置高性能壓電陶瓷促動器帶來超長使用壽命

壓電陶瓷促動器由環(huán)氧脂質涂層包裹，具有優(yōu)異的防潮特性，避免漏電流增大造成故障。壓電陶瓷促動器比傳統(tǒng)式壓電促動器的使用壽命更長，性能更穩(wěn)定，可實現(xiàn)無故障運行1000億個循環(huán)。

直接位置測量帶來超高的運動控制精度

位移變化可直接在納米運動平臺上測量，完全不受驅動或導向元件的影響。這樣可以實現(xiàn)最佳的重復定位精度、優(yōu)異的穩(wěn)定性和剛性、快速響應控制。

可提供適用于復雜真空應用版本

壓電陶瓷納米定位系統(tǒng)中使用的所有部件均非常適合于在真空環(huán)境中使用。操作無需潤滑劑或潤滑脂。壓電陶瓷納米定位系統(tǒng)可實現(xiàn)極低的排氣率。

 ?基于無摩擦、高精度柔性鉸鏈運動導向的壓電陶瓷納米定位系統(tǒng)，系統(tǒng)分辨率僅受放大器噪聲和測量技術的限制。