內(nèi)置電容式精密位移傳感器，實(shí)現(xiàn)亞納米分辨率

壓電物鏡定位器內(nèi)置電容式精密位移傳感器進(jìn)行全閉環(huán)的位置反饋，電容式傳感器以亞納米分辨率進(jìn)行測(cè)量，且無(wú)接觸。它們可確保優(yōu)異的運(yùn)動(dòng)線性、長(zhǎng)期穩(wěn)定性和千赫茲范圍的帶寬，在閉環(huán)操作時(shí)能提供高分辨率，同時(shí)主動(dòng)補(bǔ)償短期和長(zhǎng)期漂移。確保納米定位臺(tái)具有極佳的運(yùn)動(dòng)控制精度，定位精度、分辨率和穩(wěn)定性可以達(dá)到納米量級(jí)，定位穩(wěn)定時(shí)間僅為毫秒量級(jí)。

無(wú)摩擦零間隙的柔性鉸鏈導(dǎo)向系統(tǒng)帶來(lái)高精度的運(yùn)動(dòng)導(dǎo)向

壓電物鏡掃描器內(nèi)部使用無(wú)摩擦及空回的柔性鉸鏈導(dǎo)向結(jié)構(gòu)，采用有限元仿真分析優(yōu)化柔性鉸鏈結(jié)構(gòu)，柔性導(dǎo)向系統(tǒng)具有超高的導(dǎo)向精度，柔性鉸鏈導(dǎo)向具有高剛性、高負(fù)載、無(wú)摩擦、無(wú)磨損、無(wú)需潤(rùn)滑、免維護(hù)等特點(diǎn)。它們的剛性可實(shí)現(xiàn)高負(fù)載能力，且它們對(duì)沖擊和振動(dòng)不敏感。真空兼容，可在很廣的溫度范圍內(nèi)工作。

直接位置測(cè)量帶來(lái)超高的運(yùn)動(dòng)控制精度

位移變化可直接在納米運(yùn)動(dòng)平臺(tái)上測(cè)量，完全不受驅(qū)動(dòng)或?qū)蛟挠绊?。這樣可以實(shí)現(xiàn)最佳的重復(fù)定位精度、優(yōu)異的穩(wěn)定性和剛性、快速響應(yīng)控制。超大行程設(shè)計(jì)可達(dá)毫米量級(jí)，滿足大行程納米定位與掃描系統(tǒng)用戶需求。

超大通光孔徑支持大視場(chǎng)物鏡，快速釋放彎曲夾允許快速物鏡更換，適配多種物鏡螺紋接口

壓電物鏡支架具有高達(dá) Ø30 mm 的通光孔徑和 500 g (1.1 lbs) 的最大負(fù)載，可輕松容納多光子和共聚焦顯微鏡中常用的大視場(chǎng)物鏡。為了允許在物鏡之間輕松切換，壓電載物臺(tái)通過(guò)獨(dú)立的適配器連接到顯微鏡和物鏡上，可快速釋放彎曲夾允許快速物鏡更換，這種設(shè)計(jì)選擇允許在不斷開(kāi)組件其余部分的情況下移除物鏡。適配器可用于 M32 x 0.75、M27 x 0.75、SM1 (1.035"-40)、M26 x 0.706、M25 x 0.75 和 RMS (0.800"-36) 螺紋。

壓電物鏡定位器專為微調(diào)焦距和高速 Z-Stack掃描采集而設(shè)計(jì)

壓電物鏡定位器專為微調(diào)焦距和高速 Z-Stack掃描采集而設(shè)計(jì)，并且兼容正置、倒置和旋轉(zhuǎn)顯微鏡。它繞過(guò)了傳統(tǒng)顯微鏡中內(nèi)置的相對(duì)較慢的步進(jìn)電機(jī)，它可提供毫秒級(jí)典型建立時(shí)間實(shí)現(xiàn)快速采集和高幀速率，以便快速獲得 3D 體積的掃描。內(nèi)置電容反饋傳感器可提供亞納米分辨率，從而能夠?qū)Χ唐诤烷L(zhǎng)期漂移進(jìn)行主動(dòng)補(bǔ)償?？蓱?yīng)用于高速延時(shí)和Z-Stack 成像的自動(dòng)對(duì)焦系統(tǒng)、3D 成像的光學(xué)切片、微調(diào)焦距、掃描干涉儀、表面輪廓測(cè)量和分析、半導(dǎo)體和晶圓檢測(cè)。

內(nèi)置高性能壓電陶瓷促動(dòng)器帶來(lái)超長(zhǎng)使用壽命

壓電陶瓷促動(dòng)器由環(huán)氧脂質(zhì)涂層包裹，具有優(yōu)異的防潮特性，避免漏電流增大造成故障。壓電陶瓷促動(dòng)器比傳統(tǒng)式壓電促動(dòng)器的使用壽命更長(zhǎng)，性能更穩(wěn)定，可實(shí)現(xiàn)無(wú)故障運(yùn)行1000億個(gè)循環(huán)。

采用無(wú)磁材質(zhì)設(shè)計(jì)制造，不受磁場(chǎng)的影響

壓電物鏡定位器為無(wú)磁材質(zhì)，使用過(guò)程中不產(chǎn)生磁場(chǎng)同時(shí)也不受磁場(chǎng)的影響。

可提供適用于復(fù)雜真空應(yīng)用版本

壓電陶瓷納米定位系統(tǒng)中使用的所有部件均非常適合于在真空環(huán)境中使用。操作無(wú)需潤(rùn)滑劑或潤(rùn)滑脂。壓電陶瓷納米定位系統(tǒng)可實(shí)現(xiàn)極低的排氣率。

獨(dú)立的轉(zhuǎn)接件連接顯微鏡和物鏡，可方便的更換物鏡

該壓電物鏡安裝架最大通光孔徑為M32，最大負(fù)載為500g，它兼容多光子顯微和共聚焦顯微應(yīng)用中常用的大視場(chǎng)物鏡。為了更方便的更換物鏡，安裝座分別通過(guò)獨(dú)立的轉(zhuǎn)接件連接顯微鏡和物鏡。這種設(shè)計(jì)使得可在不需要拆下其它組件的情況下拆卸物鏡。轉(zhuǎn)接件可選螺紋接口。

無(wú)摩擦柔性鉸鏈導(dǎo)向與大行程的杠桿放大結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)相結(jié)合

壓電物鏡掃描臺(tái)基于壓電陶瓷復(fù)合放大式結(jié)構(gòu)，壓電物鏡掃描儀內(nèi)部采用高精度的無(wú)摩擦柔性鉸鏈導(dǎo)向與大行程的杠桿放大結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)相結(jié)合，采用有限元仿真分析優(yōu)化柔性鉸鏈結(jié)構(gòu)，復(fù)合式的柔性導(dǎo)向系統(tǒng)具有超高的導(dǎo)向精度、有效消除側(cè)向運(yùn)動(dòng)分量，具有高剛性、高動(dòng)態(tài)、大推力、大承載、無(wú)摩擦、無(wú)磨損、免維護(hù)、小體積等特點(diǎn)。

采用壓電陶瓷驅(qū)動(dòng)的納米級(jí)壓電物鏡掃描儀

壓電物鏡掃描器用于精細(xì)對(duì)焦調(diào)節(jié)和高速Z軸序列圖像采集，應(yīng)用于顯微物鏡的大行程納米定位與掃描系統(tǒng)，結(jié)構(gòu)緊湊、易于集成，它兼容多款顯微鏡，它避開(kāi)了集成在顯微鏡中的相對(duì)緩慢的步進(jìn)電機(jī)，從而實(shí)現(xiàn)了快速的3D掃描。在三維成像技術(shù)、篩選、干涉、計(jì)量、自動(dòng)對(duì)焦系統(tǒng)、共聚焦顯微鏡、半導(dǎo)體測(cè)試、生物技術(shù)等領(lǐng)域得到廣泛應(yīng)用。

納米級(jí)電容位移傳感器可達(dá)到的精度分辨率是納米級(jí)范圍

研生PIEZOXYZ研發(fā)生產(chǎn)的納米級(jí)電容位移傳感器通過(guò)測(cè)量使用均勻電場(chǎng)的傳感器探頭和移動(dòng)目標(biāo)表面之間的電容的變化，絕對(duì)值通過(guò)經(jīng)調(diào)整、校準(zhǔn)的系統(tǒng)確定，最小距離偏差通過(guò)無(wú)接觸在長(zhǎng)距離基礎(chǔ)上測(cè)量，可達(dá)到的精度分辨率是納米級(jí)范圍，可有效測(cè)量最短的距離，高分辨率位移測(cè)量中的納米定位應(yīng)用。通過(guò)雙極板電容傳感器測(cè)量移動(dòng)物體最大精度的直接距離和實(shí)際位置。無(wú)接觸測(cè)量高分辨力傳感器具有較高的傳感器帶寬，可滿足動(dòng)態(tài)應(yīng)用中的閉環(huán)控制。

顯微鏡
現(xiàn)代顯微任務(wù)要求越來(lái)越高的圖像分辨率以及3D圖像掃描系統(tǒng)。除了利用新開(kāi)發(fā)的特殊光學(xué)方法（如STED，TIRF...）來(lái)獲得在生物學(xué)領(lǐng)域越來(lái)越多的詳細(xì)信息之外，同時(shí)包括其他應(yīng)用方法：   ?自動(dòng)對(duì)焦 ?共聚焦顯微鏡和三維成像系統(tǒng) ?服務(wù)于現(xiàn)代研究的定位系統(tǒng)如STED；TIRF；DIC；2光子顯微鏡 ?可集成到幾乎所有的主流顯微鏡的定位系統(tǒng)

? 基于無(wú)摩擦高精度柔性鉸鏈運(yùn)動(dòng)導(dǎo)向的壓電陶瓷納米定位系統(tǒng)，系統(tǒng)分辨率僅受放大器噪聲和測(cè)量技術(shù)的限制。開(kāi)環(huán)分辨率為受系統(tǒng)放大器噪聲限制所能達(dá)到的典型值。極低的系統(tǒng)定位噪聲可獲得滿行程十萬(wàn)分之一以上的閉環(huán)分辨率。