壓電陶瓷納米定位系統(tǒng)適用于任何需要納米或亞納米級精度和可重復(fù)性的應(yīng)用

研生PIEZOXYZ設(shè)計制造的壓電陶瓷納米定位系統(tǒng)適用于任何需要納米或亞納米級精度和可重復(fù)性的應(yīng)用。這些應(yīng)用包括多種類型的顯微鏡、納米對準(zhǔn)、光學(xué)掃描、納米制造、測試和機(jī)器人技術(shù)。研生的集成電容位置傳感器的壓電平臺進(jìn)行直接的絕對位置測量。該傳感系統(tǒng)通?？蓪崿F(xiàn)優(yōu)于 0. 03 %的閉環(huán)定位線性度，并且能夠?qū)⒍ㄎ辉肼暯抵羴喖{米范圍。超低位置噪聲的傳感器技術(shù)測量納米定位系統(tǒng)，壓電陶瓷納米定位系統(tǒng)可實現(xiàn)的極佳的精度和線性度。