電容傳感器 (Capacitive Sensor)

電容傳感器允許非接觸式測量，不會(huì)將過多能量引入壓電驅(qū)動(dòng)系統(tǒng)并采用扁平化設(shè)計(jì)。其直接位置測量消除了漂移對(duì)從10微米到約2毫米行程范圍的影響。設(shè)計(jì)包括兩個(gè)導(dǎo)電表面：高頻交流電在兩個(gè)表面之間產(chǎn)生均勻電場。涵蓋定位平臺(tái)、傳感器技術(shù)和電子器件的總體系統(tǒng)在性能和精度方面均有所提升。半導(dǎo)體行業(yè)的客戶也青睞于這種小型和多功能設(shè)計(jì)以及系統(tǒng)中無熱量積聚。

          壓電陶瓷驅(qū)動(dòng)/控制器                                                                               二維壓電平移臺(tái)