超精密壓電陶瓷納米定位系統(tǒng)應(yīng)用
隨著科技的不斷發(fā)展,盡可能提高定位精度是許多應(yīng)用領(lǐng)域的迫切需求,對科研儀器和工業(yè)設(shè)備的精度要求不斷提高,要求的特征尺寸越來越小,越來越精密,要求的精度從微米至納米量級,運動控制的精度正在被不斷推向極限,普通的運動控制系統(tǒng)已不能滿足應(yīng)用需求,這給超精密定位技術(shù)帶來了巨大的發(fā)展機遇和技術(shù)挑戰(zhàn)。超精密定位技術(shù)已在科研和工業(yè)領(lǐng)域中廣泛應(yīng)用,在半導(dǎo)體制造、顯微技術(shù)、表面測量技術(shù)、計量、激光、光電子、光纖、生物技術(shù)、制藥、醫(yī)療、醫(yī)學(xué)工程、生命科學(xué)、天文、航天、精密加工及自動化技術(shù)等領(lǐng)域,都能夠看到超精密定位技術(shù)的身影,并解決各種精密定位中的苛刻要求,超精密運動與控制技術(shù)是先進制造和前沿科學(xué)研究的核心技術(shù)之一。
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壓電納米定位技術(shù)為MEMS和光電子設(shè)備的測試與制造提供大量的創(chuàng)新解決方案,產(chǎn)品范圍從用于工業(yè)自動化的自動6D對準(zhǔn)系統(tǒng)到簡單的實驗室裝置。特有的壓電驅(qū)動裝置使亞毫秒的快速掃描響應(yīng)成為可能。
在該領(lǐng)域,壓電納米定位產(chǎn)品的具體應(yīng)用包括光纖或光纖陣列的自動對準(zhǔn)、用于MEMS和多通道波導(dǎo)器件的測試系統(tǒng)等。
硅光子學(xué)(SiP)對于滿足世界對數(shù)據(jù)的需求至關(guān)重要。 壓電納米定位系統(tǒng)開創(chuàng)性的新工業(yè)技術(shù)正使之成為現(xiàn)實。無論是測試還是包裝,納米定位系統(tǒng)都可助其SiP制造商及其原始工具設(shè)備制造商高效可靠地測試和包裝該新一代光子學(xué)設(shè)備,且可實現(xiàn)所需的納米級高精度和高產(chǎn)量。做到這一點的關(guān)鍵之處在于,在多個互動輸入輸出和自由度之間,可同時進行自動化快速對準(zhǔn),通常能在幾百毫秒以內(nèi)實現(xiàn)全局優(yōu)化。 由于這種內(nèi)在并行性,之前需用來確定多通道SiP部件的方向以進行測試和包裝的耗時迭代方法已被淘汰,由此節(jié)約的時間可超兩個數(shù)量級。由于不同的設(shè)備和產(chǎn)品應(yīng)用呈現(xiàn)出不同的要求,研生的納米定位系統(tǒng)模塊化架構(gòu)提供多種方案,幾乎能滿足所有產(chǎn)品測試和包裝需求。
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