超精密壓電陶瓷納米定位系統(tǒng)應用
隨著科技的不斷發(fā)展,盡可能提高定位精度是許多應用領域的迫切需求,對科研儀器和工業(yè)設備的精度要求不斷提高,要求的特征尺寸越來越小,越來越精密,要求的精度從微米至納米量級,運動控制的精度正在被不斷推向極限,普通的運動控制系統(tǒng)已不能滿足應用需求,這給超精密定位技術(shù)帶來了巨大的發(fā)展機遇和技術(shù)挑戰(zhàn)。超精密定位技術(shù)已在科研和工業(yè)領域中廣泛應用,在半導體制造、顯微技術(shù)、表面測量技術(shù)、計量、激光、光電子、光纖、生物技術(shù)、制藥、醫(yī)療、醫(yī)學工程、生命科學、天文、航天、精密加工及自動化技術(shù)等領域,都能夠看到超精密定位技術(shù)的身影,并解決各種精密定位中的苛刻要求,超精密運動與控制技術(shù)是先進制造和前沿科學研究的核心技術(shù)之一。
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由于壓電定位技術(shù)具有很多獨特之處,例如快速響應、剛性好、長壽命、無限的分辨率等,很快在從半導體測試設備到精密機械加工等許多領域中得到應用。其中,最具有代表性的應用為用于精密加工的壓電快速機床伺服系統(tǒng),該類系統(tǒng)通常裝有特殊的防水外殼,并提供與機床相聯(lián)的機械接口。
壓電定位系統(tǒng)內(nèi)置測量/傳感子系統(tǒng),分辨率達到納米至亞納米級,通過數(shù)字或模擬控制器可閉環(huán)工作。柔性導向機構(gòu)及運動放大機構(gòu)可以在增大行程的同時保護壓電陶瓷免受離軸力(側(cè)向力和扭矩)的破壞。
壓電定位系統(tǒng)廣泛用于世界各地的工廠中,每天工作24小時,一周7天。它們的使用大大提高了光學器件、曲軸、軸承、活塞、汽缸等的加工精度,成為機床中金剛石修整、研磨、拋光、非圓鏜孔和磨損補償?shù)汝P(guān)鍵工藝的核心部件。
超精密壓電納米定位系統(tǒng)專業(yè)制造商
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遼寧研生科技有限公司
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