超精密壓電陶瓷納米定位系統(tǒng)應(yīng)用
隨著科技的不斷發(fā)展,盡可能提高定位精度是許多應(yīng)用領(lǐng)域的迫切需求,對(duì)科研儀器和工業(yè)設(shè)備的精度要求不斷提高,要求的特征尺寸越來(lái)越小,越來(lái)越精密,要求的精度從微米至納米量級(jí),運(yùn)動(dòng)控制的精度正在被不斷推向極限,普通的運(yùn)動(dòng)控制系統(tǒng)已不能滿足應(yīng)用需求,這給超精密定位技術(shù)帶來(lái)了巨大的發(fā)展機(jī)遇和技術(shù)挑戰(zhàn)。超精密定位技術(shù)已在科研和工業(yè)領(lǐng)域中廣泛應(yīng)用,在半導(dǎo)體制造、顯微技術(shù)、表面測(cè)量技術(shù)、計(jì)量、激光、光電子、光纖、生物技術(shù)、制藥、醫(yī)療、醫(yī)學(xué)工程、生命科學(xué)、天文、航天、精密加工及自動(dòng)化技術(shù)等領(lǐng)域,都能夠看到超精密定位技術(shù)的身影,并解決各種精密定位中的苛刻要求,超精密運(yùn)動(dòng)與控制技術(shù)是先進(jìn)制造和前沿科學(xué)研究的核心技術(shù)之一。
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生物科技及相關(guān)科學(xué)的快速發(fā)展帶來(lái)了高速高精度定位系統(tǒng)的需求。
研生科技的壓電定位系統(tǒng)可以使顯微物鏡鏡頭在數(shù)毫秒內(nèi)完成精密聚焦,也可以幫助細(xì)胞快速排列。藥物篩選技術(shù)也需要壓電系統(tǒng)進(jìn)行納升級(jí)的微配藥,并依賴壓電促動(dòng)器的速度、精度和超長(zhǎng)壽命。
目前前沿DNA研究中最重要的研究工具是掃描光學(xué)顯微鏡。而如果沒(méi)有壓電定位系統(tǒng),這類顯微系統(tǒng)根本無(wú)法工作。
藥物篩選、制藥研究、診斷和治療領(lǐng)域取得的技術(shù)進(jìn)步都與高性能精準(zhǔn)定位系統(tǒng)密不可分。這些系統(tǒng)廣泛應(yīng)用在許多場(chǎng)合,例如,眼科治療中的激光束控制、內(nèi)窺鏡三維成像以及可模擬最小細(xì)胞結(jié)構(gòu)的新型三維立體光刻工藝。除高定位精度外,這些驅(qū)動(dòng)系統(tǒng)通常還需要具有結(jié)構(gòu)緊湊、能耗低、速度快及穩(wěn)定性高等特點(diǎn)。
醫(yī)學(xué)研究與診斷以及成像技術(shù)(例如生物統(tǒng)計(jì)學(xué)領(lǐng)域)通常都需要非常高的分辨率和穩(wěn)定性。因此,需要快速而精準(zhǔn)地移動(dòng)成像元件,從而補(bǔ)償因外力而產(chǎn)生的振蕩。 微掃描技術(shù)通過(guò)在傳感器芯片各像素之間快速運(yùn)動(dòng),進(jìn)一步提高了分辨率。
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