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超精密壓電陶瓷納米定位系統(tǒng)應用

隨著科技的不斷發(fā)展，盡可能提高定位精度是許多應用領(lǐng)域的迫切需求，對科研儀器和工業(yè)設備的精度要求不斷提高，要求的特征尺寸越來越小，越來越精密，要求的精度從微米至納米量級，運動控制的精度正在被不斷推向極限，普通的運動控制系統(tǒng)已不能滿足應用需求，這給超精密定位技術(shù)帶來了巨大的發(fā)展機遇和技術(shù)挑戰(zhàn)。超精密定位技術(shù)已在科研和工業(yè)領(lǐng)域中廣泛應用，在半導體制造、顯微技術(shù)、表面測量技術(shù)、計量、激光、光電子、光纖、生物技術(shù)、制藥、醫(yī)療、醫(yī)學工程、生命科學、天文、航天、精密加工及自動化技術(shù)等領(lǐng)域，都能夠看到超精密定位技術(shù)的身影，并解決各種精密定位中的苛刻要求，超精密運動與控制技術(shù)是先進制造和前沿科學研究的核心技術(shù)之一。